[实用新型]一种真空镀膜设备用冷却机构

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜设备用冷却机构，包括外壳体、内壳体和出水管，所述外壳体与内壳体之间形成有空隙，外壳体下方固定有底座，外壳体上设置有出风口和进风口，外壳体侧面连接有支撑架，且支撑架上安装有风机，所述内壳体内侧设置有真空镀膜腔，内壳体内部安装有上侧进水管、第一水管、下侧进水管、第二水管和第三水管，所述上侧进水管与第一水管相连通，第一水管通过两通阀与第三水管相连，第三水管通过三通阀与第二水管和出水管连接在一起。该真空镀膜设备用冷却机构，结构设置合理，通过设置内外壳体，将冷却水管嵌入内壳体中，提高冷却效果，在外壳体上设置内小外大的进风口和风机，利用节流膨胀原理，增强风冷效果。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体为一种真空镀膜设备用冷却机构。

背景技术

真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面(通常是非金属材料)，主要思路是分成蒸发和溅射两种，当利用真空腔体在基片上对某种材料进行真空镀膜时，往往由于沉积反应或工艺要，需要对基片进行高温加热，加热过程导致真空腔体内部温度升高，长时间处于过热状态不仅会影响镀膜产品的合格率，还会对镀膜腔内机械结构造成损害，目前常采用的冷却方式为在镀膜室外设冷却管，在冷却管内通过冷却水进行冷却，这种冷却方式冷却速度慢，冷却效果不理想，而且市场上的冷却管通常设置成连续的“S”型，当冷却水路较长时，进水处与出水处两侧的冷却水温差较大，从而造成不同区域的冷却效果不同。

为了解决目前市场上所存在的缺点，急需改善真空镀膜设备用冷却机构的技术，能够更好的保证真空镀膜设备的安全作业，促进真空镀膜行业的发展。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜设备用冷却机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜设备用冷却机构，包括外壳体、内壳体和出水管，所述外壳体与内壳体之间形成有空隙，外壳体下方固定有底座，外壳体上设置有出风口和进风口，外壳体侧面连接有支撑架，且支撑架上安装有风机，所述内壳体内侧设置有真空镀膜腔，内壳体内部安装有上侧进水管、第一水管、下侧进水管、第二水管和第三水管，所述真空镀膜腔内设置有冷却挡板，冷却挡板前端设置有防脱件，冷却挡板内部设置有进水腔，且进水腔上下两端分别与连通管和第二水管相连通，所述上侧进水管与第一水管相连通，第一水管通过两通阀与第三水管相连，第三水管通过三通阀与第二水管和出水管连接在一起，第三水管与连通管连接处设置有单向阀，所述出水管和第二水管另一端分别连接水槽和下侧进水管，且水槽内部设置有冷却腔，所述冷却腔与制冷机相连通，制冷机两侧均设置有水泵。

优选的，所述外壳体顶面上开设有等间距分布的出风口，外壳体侧面上安装有呈矩阵状分布的进风口，且出风口结构为内大外小，进风口结构为内小外大。

优选的，所述空隙截面呈倒“U”型，空隙连通出风口和进风口，当风机吹风时，风经进风口进入空隙内后从出风口吹出。

优选的，所述内壳体底边中心处设置有下侧进水管，下侧进水管左右两侧交错连接有第二水管，内壳体顶边中部对称设置有两个上侧进水管，左侧上侧进水管左端与第一水管相连，右侧上侧进水管右端与第一水管相连，且第一水管与第二水管相对应。

优选的，所述第三水管上下两端分布安装在两通阀和三通阀上，第三水管下部与连通管相连通。

优选的，所述冷却挡板共设置有两个，冷却挡板底端对称固定在内壳体底板上表面，防脱件截面呈弧形，当镀膜材料加热产生的蒸汽与冷却挡板后形成粉尘，防脱件阻挡粉尘飘散。

优选的，所述制冷机位于外壳体外部前侧，制冷机左侧的水泵与下侧进水管连接在一起，制冷机右侧的水泵与上侧进水管连接在一起。