[实用新型]一种晶圆切割机防震底座有效
| 申请号: | 202020658769.3 | 申请日: | 2020-04-27 |
| 公开(公告)号: | CN212602665U | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
| 发明(设计)人: | 陈浩平;章泽润 | 申请(专利权)人: | 无锡芯坤电子科技有限公司 |
| 主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种晶圆切割机防震底座,包括支撑台板,所述支撑台板的上部设有安装座,所述安装座的上部固定连接有切割机头,所述安装座的内部设有空槽,所述空槽滑动连接有滑动板,所述滑动板的右侧固定连接有限位板,本实用新型带有安装座的内部设有空槽,所述空槽滑动连接有滑动板,滑动板的右侧固定连接有限位板,所述滑动板的上部开设有台阶,所述台阶的内部设有第一晶圆软垫,因此能够对较大的晶圆进行切割,在切割小型晶圆时,能够收回滑动板,不占空间,所述安装座的下部开设有方形槽体,所述方形槽体的内部设有减震橡胶垫,所述减震橡胶垫的下部粘接有硅胶垫,能够起到减震作用,减少了工作时的噪音。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 切割机 防震 底座 | ||
【主权项】:
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