[实用新型]一种晶圆切割机防震底座

权利要求书

1.一种晶圆切割机防震底座，包括支撑台板（1），其特征在于：所述支撑台板（1）的上部设有安装座（2），所述安装座（2）的上部固定连接有切割机头（3），所述安装座（2）的内部设有空槽，所述空槽滑动连接有滑动板（8），所述滑动板（8）的右侧固定连接有限位板（9），所述滑动板（8）的上部开设有台阶，所述台阶的内部设有第一晶圆软垫（10），所述安装座（2）的下部开设有方形槽体（13），所述方形槽体（13）的内部设有减震橡胶垫（16），所述减震橡胶垫（16）的下部粘接有硅胶垫（17），所述滑动板（8）的侧边设有圆形盲孔（12），所述支撑台板（1）的正面通过螺纹连接有第一螺栓（5），所述第一螺栓（5）上固定连接有塑料把手。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割机防震底座，其特征在于：所述滑动板（8）的上侧和下侧分别焊接有连接耳（7）。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆切割机防震底座，其特征在于：所述连接耳（7）通过螺纹连接有第二螺栓（14），所述第二螺栓（14）的上部固定连接有塑料转动把。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆切割机防震底座，其特征在于：所述第二螺栓（14）的下端固定连接有尼龙限位块（15）。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆切割机防震底座，其特征在于：所述滑动板（8）两侧的支撑台板（1）上均设有粗糙面（6）。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆切割机防震底座，其特征在于：所述安装座（2）通过第三螺栓（11）与支撑台板（1）连接，所述安装座（2）的上部固定连接有第二晶圆软垫（4）。