[实用新型]一种晶圆切割机防震底座有效
| 申请号: | 202020658769.3 | 申请日: | 2020-04-27 |
| 公开(公告)号: | CN212602665U | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
| 发明(设计)人: | 陈浩平;章泽润 | 申请(专利权)人: | 无锡芯坤电子科技有限公司 |
| 主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 切割机 防震 底座 | ||
本实用新型公开了一种晶圆切割机防震底座,包括支撑台板,所述支撑台板的上部设有安装座,所述安装座的上部固定连接有切割机头,所述安装座的内部设有空槽,所述空槽滑动连接有滑动板,所述滑动板的右侧固定连接有限位板,本实用新型带有安装座的内部设有空槽,所述空槽滑动连接有滑动板,滑动板的右侧固定连接有限位板,所述滑动板的上部开设有台阶,所述台阶的内部设有第一晶圆软垫,因此能够对较大的晶圆进行切割,在切割小型晶圆时,能够收回滑动板,不占空间,所述安装座的下部开设有方形槽体,所述方形槽体的内部设有减震橡胶垫,所述减震橡胶垫的下部粘接有硅胶垫,能够起到减震作用,减少了工作时的噪音。
技术领域
本实用新型涉及防震底座技术领域,具体为一种晶圆切割机防震底座。
背景技术
在芯片生产过程中,会用到晶圆,然而这些晶圆在运到现场后由于尺寸的原因并不能立刻满足需要,因此需要采用切割机对这些晶圆进行切割以满足需要。
然而市场上的切割机在使用的过程造成非常强烈的噪音,然而这种噪音污染因切割机本身结构的问题,并无法进行降噪处理,且在使用过程中切割机会震动的非常厉害,当施工人员进行切割时,因切割机震动过强带来强烈的不舒适感。
其次现有技术中的切割机并没有方便放置的底座,无法适应大体积的晶圆,不能满足需要,为此,我们推出一种晶圆切割机防震底座。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶圆切割机防震底座,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种晶圆切割机防震底座,包括支撑台板,所述支撑台板的上部设有安装座,所述安装座的上部固定连接有切割机头,所述安装座的内部设有空槽,所述空槽滑动连接有滑动板,所述滑动板的右侧固定连接有限位板,所述滑动板的上部开设有台阶,所述台阶的内部设有第一晶圆软垫,所述安装座的下部开设有方形槽体,所述方形槽体的内部设有减震橡胶垫,所述减震橡胶垫的下部粘接有硅胶垫,所述滑动板的侧边设有圆形盲孔,所述支撑台板的正面通过螺纹连接有第一螺栓,所述第一螺栓上固定连接有塑料把手。
优选的,所述滑动板的上侧和下侧分别焊接有连接耳。
优选的,所述连接耳通过螺纹连接有第二螺栓,所述第二螺栓的上部固定连接有塑料转动把。
优选的,所述第二螺栓的下端固定连接有尼龙限位块。
优选的,所述滑动板两侧的支撑台板上均设有粗糙面。
优选的,所述安装座通过第三螺栓与支撑台板连接,所述安装座的上部固定连接有第二晶圆软垫。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型带有安装座的内部设有空槽,所述空槽滑动连接有滑动板,滑动板的右侧固定连接有限位板,所述滑动板的上部开设有台阶,所述台阶的内部设有第一晶圆软垫,因此能够对较大的晶圆进行切割,在切割小型晶圆时,能够收回滑动板,不占空间,所述安装座的下部开设有方形槽体,所述方形槽体的内部设有减震橡胶垫,所述减震橡胶垫的下部粘接有硅胶垫,能够起到减震作用,减少了工作时的噪音。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图;
图2为本实用新型安装座结构示意图;
图3为本实用新型硅胶垫结构示意图。
图中:1、支撑台板;2、安装座;3、切割机头;4、第二晶圆软垫;5、第一螺栓;6、粗糙面;7、连接耳;8、滑动板;9、限位板;10、第一晶圆软垫;11、第三螺栓;12、圆形盲孔;13、方形槽体;14、第二螺栓;15、尼龙限位块;16、减震橡胶垫;17、硅胶垫。
具体实施方式
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