[实用新型]一种CMP后清洗设备的液体传输管路有效
| 申请号： | 202020645757.7 | 申请日： | 2020-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN212319415U | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 余涛;唐杰;朴灵绪;张霞;郭巍 | 申请（专利权）人： | 若名芯半导体科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/08 | 分类号： | F17D1/08;F17D3/01;F17D3/16;H01L21/67 |
| 代理公司： | 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 | 代理人： | 朱斌兵 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种CMP后清洗设备的液体传输管路,包括：供液装置，供液装置的出液口一端连接有进液管，且进液管的末端呈倒“L”型；进液管的尾端下方设有腔体，供液装置通过进液管将液体输送至腔体内；在进液管的前部设有回吸阀和过滤器；在过滤器上还连通有排液组件，用于将过滤器内部残留的液体排出；排液组件包括排液管，在排液管上设有压力监测器；排液管上位于压力监测器的一侧还设有排水阀，排水阀由反馈系统控制，本实用新型在进液管中增设了回吸阀，利用回吸阀将进液管中残留的药液进行回流吸收，同时利用反馈系统和压力监测器监控过滤器内的压力，从而实时控制排水阀的开启，保证过滤器中的药液及时排出，确保不会有药液对硅片造成腐蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cmp 清洗 设备 液体 传输 管路 | ||
【主权项】：
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