[实用新型]一种CMP后清洗设备的液体传输管路有效
| 申请号： | 202020645757.7 | 申请日： | 2020-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN212319415U | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 余涛;唐杰;朴灵绪;张霞;郭巍 | 申请（专利权）人： | 若名芯半导体科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/08 | 分类号： | F17D1/08;F17D3/01;F17D3/16;H01L21/67 |
| 代理公司： | 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 | 代理人： | 朱斌兵 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 cmp 清洗 设备 液体 传输 管路 | ||
【权利要求书】：
1.一种CMP后清洗设备的液体传输管路, 其特征在于，包括：
供液装置，所述供液装置的出液口一端连接有进液管，且所述进液管的末端呈倒“L”型；所述进液管的尾端下方设有腔体，上述供液装置通过进液管将液体输送至腔体内；
在所述进液管的前部设有依次设置的回吸阀和过滤器；在所述过滤器上还连通有排液组件，用于将过滤器内部残留的液体排出。
2.根据权利要求1所述的CMP后清洗设备的液体传输管路，其特征在于：所述排液组件包括排液管，在所述排液管上设有压力监测器，用于监控过滤器的压力，并将相应的信息传输给反馈系统；所述排液管上位于压力监测器的一侧还设有排水阀，所述排水阀经由反馈系统进行控制。
3.根据权利要求1所述的CMP后清洗设备的液体传输管路，其特征在于：所述回吸阀和过滤器位于供液装置的一侧。
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