[实用新型]一种芯片封装中金属互连线自修复结构有效
申请号: | 202020637716.3 | 申请日: | 2020-04-24 |
公开(公告)号: | CN211629104U | 公开(公告)日: | 2020-10-02 |
发明(设计)人: | 王刚;李杨;朱召贤;颜炎洪;孙莹 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第五十八研究所 |
主分类号: | H01L23/544 | 分类号: | H01L23/544;H01L23/52;H01L21/66;H01L21/768 |
代理公司: | 无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙) 32340 | 代理人: | 杨立秋 |
地址: | 214000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开一种芯片封装中金属互连线自修复结构,属于集成电路封装技术领域。所述芯片封装中金属互连线自修复结构包括封装衬底、修复合金结构和若干个控制芯片;封装衬底表面制作有金属互连线;修复合金结构制作在金属互连线上相对薄弱的位置,控制芯片布置在修复合金结构的表面。通过采用封装内嵌入式控制芯片,自动检测金属互连线断点,采用热熔修复合金结构的方式,在封装结构破坏处填充缝隙,重新连接断裂的金属互连线,具有自适应监测和修复缺陷能力,定位准确,作用快速,可以有效提高封装结构的可靠性,提高封装在恶劣环境下的适用能力,降低使用成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 封装 金属 互连 修复 结构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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