[实用新型]一种制备大尺寸单晶的装置有效
| 申请号： | 202020576918.1 | 申请日： | 2020-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN211999987U | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 王书杰;孙聂枫;史艳磊;邵会民;李晓岚;王阳;付莉杰;徐森锋;姜剑;刘惠生;孙同年 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技南湖研究院;中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | C30B33/06 | 分类号： | C30B33/06 |
| 代理公司： | 石家庄众志华清知识产权事务所(特殊普通合伙) 13123 | 代理人： | 聂旭中 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种制备大尺寸单晶的装置，属于半导体材料制备领域，具体涉及将多块小尺寸单晶通过固态连接方式制备成大尺寸单晶的装置。包括水冷炉、密闭置于水冷炉中的固态连接室、置于固态连接室内的组合夹具，组合夹具固定多个晶块，使用顶柱或应力压块通过组合夹具对晶块施压，水冷炉中设置围绕固态连接室的加热丝，真空管道连通固态连接室，在组合夹具附近设置有热偶。有益效果：1、可以实现将小尺寸的单晶块连接制备成大尺寸的单晶，2、制备过程中，不必考虑孪晶、多晶化等在传统单晶生长过程中需要注意的问题，3、设备简单，4、理论上可以制备任意尺寸的单晶。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 尺寸 装置 | ||
【主权项】：
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