[实用新型]一种制备大尺寸单晶的装置

权利要求书

1.一种制备大尺寸单晶的装置，其特征在于：所述装置包括水冷炉、密闭置于水冷炉中的固态连接室、置于固态连接室内的组合夹具，

组合夹具固定多个晶块，使用顶柱或应力压块通过组合夹具对晶块施压，

水冷炉中设置围绕固态连接室的加热丝，

真空管道连通固态连接室，

在组合夹具附近设置有热偶。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：挥发室（22-4）经挥发气管（22-2）连通固态连接室。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：

所述组合夹具包括两个圆形卡具（16），圆形卡具的内表面为与晶块的外形匹配的圆弧形，圆弧的弧度小于180°。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于：所述组合夹具垂直放置，在上面的圆形卡具（16）上放置应力压块。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：

所述组合夹具包括相对设置的两组立方型单晶块卡具I（18）和立方型单晶块卡具II（19），立方形单晶体卡具内表面为平面，长度小于晶块组合后的长度。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：

所述水冷炉包括水冷炉体II（33）、炉体II左侧盖（33-1）、炉体II右侧盖（33-2），

所述固态连接室包括固态连接室II主体（34）、固态连接室II封盖（34-1），固态连接室II主体（34）固态连接室II封盖（34-1）围成内腔，

所述水冷炉和固态连接室通过右水冷法兰（37）和左水冷法兰（48）连接，

固态连接室内的组合夹具通过右顶柱（39）和左顶柱（44）施压，两个顶柱用冷水法兰定位。

7.根据权利要求2所述的装置，其特征在于：

所述水冷炉包括水冷炉体I（20）、炉体I侧盖（20-1），在第一连接孔（20-4）中设置定位挥发气管（22-2）的炉体I第一法兰（20-2），在第二连接孔（20-5）设置定位真空管路（22-3）的炉体I第二法兰（20-3），

所述固态连接室包括固态连接室I主体（22）、固态连接室I封盖（22-1），固态连接室I主体（22）与固态连接室I封盖（22-1）围成内腔。

8.根据权利要求2或7所述的装置，其特征在于：水冷炉还设置带有阀门的充气管道（20-7）。

9.根据权利要求2或7所述的装置，其特征在于：挥发室（22-4）和挥发气管（22-2）周围设置辅助加热丝（24）。