[实用新型]一种具有工件摆动装置的化学机械抛光设备有效
| 申请号： | 202020554303.9 | 申请日： | 2020-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN211992443U | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 朱文献 | 申请（专利权）人： | 昂士特科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B47/16;B24B47/12;B24B37/34 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 谭雪婷;梁炎芳 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区桃源*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有工件摆动装置的化学机械抛光设备，包括：工作台、转盘、砝码组、限位环和摆动组件，工作台中部开设有容纳转盘的避位开口，转盘转动设置在避位开口内，转盘上设置有抛光垫，限位环设置在抛光垫上，砝码组设置在限位环内，砝码组用于压紧工件；摆动组件包括悬臂、两弹簧组件、旋转支架和转轴，两弹簧组件对称设置在工作台上，且位于避位开口的一侧；转轴可转动地设置在工作台上，且位于两弹簧组件的中部，旋转支架固定在转轴上，悬臂刚性连接在旋转支架上；悬臂远离旋转支架的一侧向内凹设有圆弧槽，圆弧槽的两端设置有滚轮，两滚轮与限位环抵接。本实用新型技术方案简单实用，旨在改善提高化学机械抛光工艺的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 工件 摆动 装置 化学 机械抛光 设备 | ||
【主权项】：
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