[实用新型]一种具有工件摆动装置的化学机械抛光设备

权利要求书

1.一种具有工件摆动装置的化学机械抛光设备，其特征在于，包括：工作台、转盘、砝码组、限位环和摆动组件，所述工作台中部开设有容纳所述转盘的避位开口，所述转盘转动设置在所述避位开口内，所述转盘上设置有抛光垫，所述限位环设置在所述抛光垫上，所述砝码组设置在所述限位环内，所述砝码组用于压紧工件；所述摆动组件包括悬臂、两弹簧组件、旋转支架和转轴，两所述弹簧组件对称设置在所述工作台上，且位于所述避位开口的一侧；所述转轴可转动地设置在所述工作台上，且位于两所述弹簧组件的中部，所述旋转支架固定在所述转轴上，所述悬臂刚性连接在所述旋转支架上；所述悬臂远离所述旋转支架的一侧向内凹设有圆弧槽，所述圆弧槽的两端设置有滚轮，两所述滚轮与所述限位环抵接。

2.如权利要求1所述的具有工件摆动装置的化学机械抛光设备，其特征在于，两所述弹簧组件相向设置，每一所述弹簧组件包括底座和弹簧杆，所述底座设置在所述工作台上，所述弹簧杆平行于所述工作台设置在所述底座上。

3.如权利要求2所述的具有工件摆动装置的化学机械抛光设备，其特征在于，所述悬臂上还开设有调节槽，所述调节槽内卡设有可移动调节的固定件，所述固定件底部与所述旋转支架固定连接。

4.如权利要求1所述的具有工件摆动装置的化学机械抛光设备，其特征在于，所述限位环为陶瓷环或钻石环。