[实用新型]一种用于三氧化二铝薄膜的直流反应溅射镀膜装置

摘要

本实用新型公开了一种用于三氧化二铝薄膜的直流反应溅射镀膜装置，涉及溅射镀膜技术领域。本实用新型包括底板，底板顶部固定有真空箱体，真空箱体内壁顶部固定有阳极板，真空箱体内壁上通过螺栓固定有绝缘固定座，绝缘固定座顶部固定有阴极板；阴极板顶部中间位置固定有导电线，导电线顶端贯穿真空箱体顶部。本实用新型使用直流高压电源、设备成本低、工艺简单且能获得较高的成膜速率；在电池片形成极低的背面复合，提高短路电压从而提高光电转换效率；此成膜方式能在较低温度和真空系统中进行，有利于严格控制各种成分，防止杂质污染。