[实用新型]一种用于三氧化二铝薄膜的直流反应溅射镀膜装置

权利要求书

1.一种用于三氧化二铝薄膜的直流反应溅射镀膜装置，包括底板（1），所述底板（1）顶部固定有真空箱体（2），其特征在于：所述真空箱体（2）内壁顶部固定有阳极板（3），所述真空箱体（2）内壁上通过螺栓固定有绝缘固定座（4），所述绝缘固定座（4）顶部固定有阴极板（5）；

所述阴极板（5）顶部中间位置固定有导电线（6），所述导电线（6）顶端贯穿真空箱体（2）顶部；

所述真空箱体（2）内壁底部固定有调节伸缩杆（7），所述调节伸缩杆（7）顶端固定有支撑台（8），所述支撑台（8）顶部固定有基片（9）。

2.根据权利要求1所述的一种用于三氧化二铝薄膜的直流反应溅射镀膜装置，其特征在于，所述真空箱体（2）底部贯穿有送风管（10），所述送风管（10）上安装有阀门，所述送风管（10）的进风端固定有氩气存储气罐（11）。

3.根据权利要求1所述的一种用于三氧化二铝薄膜的直流反应溅射镀膜装置，其特征在于，所述真空箱体（2）底部贯穿有抽气管（12），所述抽气管（12）上安装有控制阀，所述抽气管（12）的出气端固定有空气过滤箱（13），所述空气过滤箱（13）的出气端固定有排气管（14），所述排气管（14）的出气端固定有真空泵（15）。

4.根据权利要求1所述的一种用于三氧化二铝薄膜的直流反应溅射镀膜装置，其特征在于，所述真空箱体（2）正表面上开设有放料口（16），所述真空箱体（2）正表面上通过铰链固定有与放料口（16）配合的箱门（17）。

5.根据权利要求4所述的一种用于三氧化二铝薄膜的直流反应溅射镀膜装置，其特征在于，所述箱门（17）上固定有与放料口（16）配合的密封橡胶圈（18），所述箱门（17）上贯穿有观察玻璃窗（19）。

6.根据权利要求4所述的一种用于三氧化二铝薄膜的直流反应溅射镀膜装置，其特征在于，所述调节伸缩杆（7）包括与真空箱体（2）内壁底部固定连接的固定筒，所述固定筒内部传动连接有伸缩杆，所述伸缩杆顶端转动连接有顶部与支撑台（8）固定连接的转座，所述伸缩杆上固定有调节螺母。