[实用新型]一种用于三氧化二铝薄膜的直流反应溅射镀膜装置

说明书

本实用新型公开了一种用于三氧化二铝薄膜的直流反应溅射镀膜装置，涉及溅射镀膜技术领域。本实用新型包括底板，底板顶部固定有真空箱体，真空箱体内壁顶部固定有阳极板，真空箱体内壁上通过螺栓固定有绝缘固定座，绝缘固定座顶部固定有阴极板；阴极板顶部中间位置固定有导电线，导电线顶端贯穿真空箱体顶部。本实用新型使用直流高压电源、设备成本低、工艺简单且能获得较高的成膜速率；在电池片形成极低的背面复合，提高短路电压从而提高光电转换效率；此成膜方式能在较低温度和真空系统中进行，有利于严格控制各种成分，防止杂质污染。

技术领域

本实用新型属于溅射镀膜技术领域，特别是涉及一种用于三氧化二铝薄膜的直流反应溅射镀膜装置。

背景技术

近几年，PERC电池大面积量产的效率持续攀升，吸引了整个光伏产业界的关注。产业化设备、关键材料都在加速开发中，产能逐渐扩张。PERC电池还有很大的效率提升空间，发射极、背面铝背场、主栅、硅片质量等还有优化空间。PERC技术采用Al2O3膜对背表面进行钝化，可以有效的降低背表面复合，提高开路电压，增加背表面反射，提高短路电流，从而提高电池效率。

Al2O3薄膜最早的制备方法是工业CVD法，其为市场上主要制备Al2O3薄膜的方法，但是工业CVD法要求沉积温度超过1000℃，且高的沉积温度会引起薄膜与基底产生有害的化学反应，同时基底和Al2O3薄膜热膨胀系数存在差异，从高温到冷却过程中会在Al2O3薄膜表面产生裂痕，同时高的沉积温度限制基底材料的选用，导致基底材料的选取均为耐高温的材料。所以科研工作者和薄膜制备领域的专家都试图探索出一种新的Al2O3薄膜制备方法，能够在低温下稳定的制备出Al2O3薄膜。

直流溅射和射频溅射是很早就开始应用的溅射技术，在二极溅射系统中已经被采用，直流溅射方法用于被溅射材料为导电材料的溅射和反应溅射镀膜中，其工艺设备简单，有较高的溅射速率使其在薄膜制备领域具有很高的应用前景，一直以来受到人们的密切关注。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于三氧化二铝薄膜的直流反应溅射镀膜装置，以解决上述背景技术所提出的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种用于三氧化二铝薄膜的直流反应溅射镀膜装置，包括底板，所述底板顶部固定有真空箱体，所述真空箱体内壁顶部固定有阳极板，所述真空箱体内壁上通过螺栓固定有绝缘固定座，所述绝缘固定座顶部固定有阴极板；

所述阴极板顶部中间位置固定有导电线，所述导电线顶端贯穿真空箱体顶部；

所述真空箱体内壁底部固定有调节伸缩杆，所述调节伸缩杆顶端固定有支撑台，所述支撑台顶部固定有基片。

进一步地，所述真空箱体底部贯穿有送风管，所述送风管上安装有阀门，所述送风管的进风端固定有氩气存储气罐。

进一步地，所述真空箱体底部贯穿有抽气管，所述抽气管上安装有控制阀，所述抽气管的出气端固定有空气过滤箱，所述空气过滤箱的出气端固定有排气管，所述排气管的出气端固定有真空泵。

进一步地，所述真空箱体正表面上开设有放料口，所述真空箱体正表面上通过铰链固定有与放料口配合的箱门。

进一步地，所述箱门上固定有与放料口配合的密封橡胶圈，所述箱门上贯穿有观察玻璃窗。

进一步地，所述调节伸缩杆包括与真空箱体内壁底部固定连接的固定筒，所述固定筒内部传动连接有伸缩杆，所述伸缩杆顶端转动连接有顶部与支撑台固定连接的转座，所述伸缩杆上固定有调节螺母。

本实用新型具有以下有益效果：