[实用新型]一种晶体生长炉有效

专利信息
申请号: 202020509056.0 申请日: 2020-04-09
公开(公告)号: CN212247272U 公开(公告)日: 2020-12-29
发明(设计)人: 杨春华 申请(专利权)人: 北京鸿效兴华科技有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00
代理公司: 北京方安思达知识产权代理有限公司 11472 代理人: 张红生;刘振
地址: 101400 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型属于晶体生长设备技术领域,具体是一种晶体生长炉,包括钟罩和底盘,钟罩固定在底盘上,所述钟罩包括钟罩内壁、钟罩外壁、内壁固定法兰和外壁固定法兰;钟罩内壁的下端设置内壁固定法兰,钟罩外壁的下端设置外壁固定法兰,钟罩外壁套设在钟罩内壁上并通过外壁固定法兰和内壁固定法兰固定在一起成为一个整体的钟罩,钟罩外壁和钟罩内壁之间形成钟罩冷却过水层;所述底盘包括底盘表面和下底盘盘体,底盘表面和下底盘盘体固定在一起形成一个整体的底盘,底盘表面和下底盘盘体之间为底盘冷却过水层。该晶体生长炉的底盘和钟罩内外两层均单独制造,并进行组装,有利于水垢的清理,有利于任意一层有损坏时进行更换。
搜索关键词: 一种 晶体生长
【主权项】:
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