[实用新型]一种晶体生长炉

权利要求书

1.一种晶体生长炉，包括钟罩和底盘，钟罩固定在底盘上，其特征在于，所述钟罩包括钟罩内壁(1)、钟罩外壁(2)、内壁固定法兰(5)和外壁固定法兰(4)；

钟罩内壁(1)的下端设置内壁固定法兰(5)，钟罩外壁(2)的下端设置外壁固定法兰(4)，钟罩外壁(2)套设在钟罩内壁(1)上并通过外壁固定法兰(4)和内壁固定法兰(5)固定在一起成为一个整体的钟罩，钟罩外壁(2)和钟罩内壁(1)之间形成钟罩冷却过水层(3)；

所述底盘包括底盘表面(6)和下底盘盘体(7)，底盘表面(6)和下底盘盘体(7)固定在一起形成一个整体的底盘，底盘表面(6)和下底盘盘体(7)之间为底盘冷却过水层。

2.根据权利要求1所述的晶体生长炉，其特征在于，外壁固定法兰(4)和内壁固定法兰(5)之间设置密封垫；底盘表面(6)和下底盘盘体(7)之间设置密封垫。

3.根据权利要求2所述的晶体生长炉，其特征在于，所述密封垫为氟橡胶密封圈。

4.根据权利要求1所述的晶体生长炉，其特征在于，所述钟罩冷却过水层(3)和底盘冷却过水层的层厚均为20-30mm。

5.根据权利要求1所述的晶体生长炉，其特征在于，钟罩内壁的制作材料为316型不锈钢，钟罩外壁的制作材料为304型不锈钢。

6.根据权利要求1所述的晶体生长炉，其特征在于，底盘表面的制作材料为316型不锈钢，下底盘盘体的制作材料为304型不锈钢。

7.根据权利要求1-6任一项所述的晶体生长炉，其特征在于，所述底盘表面和下底盘盘体上对应设置六个安装孔，分别用于热电偶、中心轴、正电极、负电极、进水管和出水管的密封组装及安装。