[实用新型]一种晶体生长炉

说明书

本实用新型属于晶体生长设备技术领域，具体是一种晶体生长炉，包括钟罩和底盘，钟罩固定在底盘上，所述钟罩包括钟罩内壁、钟罩外壁、内壁固定法兰和外壁固定法兰；钟罩内壁的下端设置内壁固定法兰，钟罩外壁的下端设置外壁固定法兰，钟罩外壁套设在钟罩内壁上并通过外壁固定法兰和内壁固定法兰固定在一起成为一个整体的钟罩，钟罩外壁和钟罩内壁之间形成钟罩冷却过水层；所述底盘包括底盘表面和下底盘盘体，底盘表面和下底盘盘体固定在一起形成一个整体的底盘，底盘表面和下底盘盘体之间为底盘冷却过水层。该晶体生长炉的底盘和钟罩内外两层均单独制造，并进行组装，有利于水垢的清理，有利于任意一层有损坏时进行更换。

技术领域

本实用新型属于晶体生长设备技术领域，具体地是一种晶体生长炉。

背景技术

现有晶体炉在生长晶体过程中都要经过不同程度的高温(最高温度要达到3000度以上)，在制造晶体炉时均采用316或304不锈钢材料压制焊接而成，双层焊接，中间过水冷却。

中国实用新型CN2475743Y公开了一种晶体生长炉，包括有炉体及与炉体连接的真空装置，坩埚升降装置中的手动机构与丝杠连接，丝杠与真空室连接，真空室连接在导柱上，真空室通过下导套与炉体连接，下导套与炉体之间由下密封密封；电动提拉装置中的谐波减速器与滚珠丝杠连接，滚珠丝杠设置在滚珠滑道上，滑块与籽晶杆连接，滚珠丝杠与滑块连接，炉体为圆筒形立式双层夹套结构，中间有冷却水；籽晶杆与柔性带连接，柔性带设置在减速轮组上，减速轮组与电机联接：手动机构与传动杆连接，传动杆与同步带连接，同步带与滚珠丝杠联接。但该实用新型的炉体仍然采用焊接的方式进行固定，无法清理冷却水空间的水垢或杂物等。

因此，现有的晶体生长炉不管大小规格全都采用双层焊接而成，中间走水。由于炉内使用温度较高，致使中间过水层产生大量水垢，造成堵塞，无法清理，使得炉体最长使用寿命也就两年。

实用新型内容

本实用新型提供一种晶体生长炉，该晶体生长炉的底盘和钟罩内外两层均单独制造，并进行组装，有利于中间过水冷却层内水垢的清理，有利于任意一层有损坏时进行更换，大大延长了使用寿命。

为达到上述目的，本实用新型采用了如下的技术方案：

一种晶体生长炉，包括钟罩和底盘，所述钟罩包括钟罩内壁、钟罩外壁、内壁固定法兰和外壁固定法兰；

钟罩内壁的下端设置内壁固定法兰，钟罩外壁的下端设置外壁固定法兰，钟罩外壁套设在钟罩内壁上并通过外壁固定法兰和内壁固定法兰固定在一起成为一个整体的钟罩，钟罩外壁和钟罩内壁之间形成钟罩冷却过水层；

所述底盘包括底盘表面和下底盘盘体，底盘表面和下底盘盘体固定在一起形成一个整体的底盘，底盘表面和下底盘盘体之间为底盘冷却过水层；

钟罩固定在底盘上。

优选地，外壁固定法兰和内壁固定法兰之间设置密封垫；底盘表面和下底盘盘体之间设置密封垫。

进一步优选地，所述密封垫为氟橡胶密封圈。

也可以采用耐高温密封材料对外壁固定法兰和内壁固定法兰之间、钟罩和底盘之间以及底盘表面和下底盘盘体之间进行密封。当采用密封垫密封时，可在外壁固定法兰和内壁固定法兰之间、钟罩和底盘之间以及底盘表面和下底盘盘体之间的相应固定位置开设密封槽，用于放置密封垫。

钟罩内壁的下端设置内壁固定法兰，钟罩外壁的下端设置外壁固定法兰，内壁固定法兰和外壁固定法兰可以焊接在钟罩内壁和钟罩外壁上。

优选地，外壁固定法兰和内壁固定法兰、钟罩和底盘以及底盘表面和下底盘盘体，采用的固定方式为螺栓固定。螺栓固定时，在相应的固定位置开设固定孔，采用螺栓螺母固定，所使用的螺栓螺母可以采用购买得到。