[实用新型]一种晶圆抬取装置及由其组成的晶圆分离装盒机有效
| 申请号： | 202020464629.2 | 申请日： | 2020-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN212220673U | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 李向东 | 申请（专利权）人： | 山东才聚电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B65B35/18 | 分类号： | B65B35/18;B65G47/88 |
| 代理公司： | 淄博汇川知识产权代理有限公司 37295 | 代理人： | 李时云 |
| 地址： | 255088 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶圆抬取装置及由其组成的晶圆分离装盒机，晶圆抬取装置包括固定于垂直板上的驱动机构，垂直板上设有导轨Ⅰ、以及沿导轨Ⅰ上下滑动连接的滑板Ⅱ，驱动机构带动滑板Ⅱ沿导轨Ⅰ上下滑动，滑板Ⅱ一端设有转停装置以及与转停装置转动连接的吸盘。晶圆分离装盒机包括底柜、设置于底柜上的控制装置、以及与控制装置电性连接的：晶圆送料装置、横向位移装置、晶圆抬取装置、晶圆转运装置、晶圆摆放装置。本实用新型可以将叠加在一起的晶圆自动分离成单个晶圆进行摆放，自动化程度高，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆抬取 装置 组成 分离 装盒机 | ||
【主权项】：
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