[实用新型]一种晶圆抬取装置及由其组成的晶圆分离装盒机

权利要求书

1.一种晶圆抬取装置，其特征在于：

晶圆抬取装置（5）包括固定于垂直板（402）上的驱动机构（8），垂直板（402）上设有导轨Ⅰ（403）、以及沿导轨Ⅰ（403）上下滑动连接的滑板Ⅱ（507），驱动机构（8）带动滑板Ⅱ（507）沿导轨Ⅰ（403）上下滑动，

滑板Ⅱ（507）一端设有转停装置（506）以及与转停装置（506）转动连接的吸盘（502）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆抬取装置，其特征在于：

晶圆抬取装置（5）还包括末端封闭的中间杆（501）、气道接头（503）、限位块（504），

限位块（504）固定于滑板Ⅱ（507）上，中间杆（501）穿过限位块（504），限位块（504）使得中间杆（501）只能旋转无法上下移动，

中间杆（501）中间设有至少一个气道接头（503），气道接头（503）位于限位块（504）下方，中间杆（501）下端连接有吸盘（502），气道接头（503）与吸盘（502）上的吸附头通过气管连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆抬取装置，其特征在于：

所述的转停装置（506）包括电机Ⅱ（5061）、同步带Ⅰ（5062）、旋转齿轮（5063），电机Ⅱ（5061）固定于滑板Ⅱ（507）上，电机Ⅱ（5061）输出轴通过同步带Ⅰ（5062）带动旋转齿轮（5063）旋转，旋转齿轮（5063）套设于中间杆（501）上，旋转齿轮（5063）与中间杆（501）固定连接。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆抬取装置，其特征在于：

中间杆（501）上端与外界气源的气管固定连接或通过旋转接头（505）进行连接，中间杆（501）内部的气道将外界气源与气道接头（503）贯通连接。

5.根据权利要求3或2所述的一种晶圆抬取装置，其特征在于：

所述的驱动机构（8）包括驱动电机（801）、驱动齿轮（802）、末端齿轮（803）、同步带Ⅱ（804）以及连接架（805），同步带Ⅱ（804）套设于驱动齿轮（802）以及末端齿轮（803）上，驱动电机（801）驱动驱动齿轮（802）旋转，连接架（805）一端与同步带Ⅱ（804）固定连接，连接架（805）另一端与滑板Ⅱ（507）固定连接。

6.一种晶圆分离装盒机，包括权利要求5所述的一种晶圆拾取装置，其特征在于：

包括底柜（1）、设置于底柜（1）上的控制装置（103）、以及与控制装置（103）电性连接的：

晶圆送料装置（3）：用以放置若干片叠放在一起的晶圆，晶圆送料装置（3）用以向上方依次输送晶圆；

横向位移装置（4）：固定于晶圆送料装置（3）后方，用以带动晶圆抬取装置（5）横向移动；

晶圆抬取装置（5）：滑动设置于横向位移装置（4）上，通过晶圆抬取装置（5）上设置的吸盘（502）将晶圆送料装置（3）向上输送的晶圆吸附；

晶圆转运装置（6）：设置于横向位移装置（4）右侧，用以将晶圆抬取装置（5）吸附的晶圆转运摆放到晶圆摆放装置（7）上设置的摆放架（704）上；

晶圆摆放装置（7）：设置于晶圆转运装置（6）前方，用以将晶圆逐个分隔摆放。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆分离装盒机，其特征在于：

所述的底柜（1）上方罩设有罩壳（101），罩壳（101）将晶圆送料装置（3）、横向位移装置（4）、晶圆抬取装置（5）、晶圆转运装置（6）、晶圆摆放装置（7）罩在内部，罩壳（101）上设有可开合的观察窗（102），所述的控制装置（103）固定于罩壳（101）外部。