[实用新型]氦检机的氦气回收机构有效

专利信息
申请号: 202020454717.4 申请日: 2020-03-31
公开(公告)号: CN211504563U 公开(公告)日: 2020-09-15
发明(设计)人: 林洵阳;董亮;林浩佳;陆庆洲 申请(专利权)人: 深圳市誉辰自动化设备有限公司
主分类号: G01M3/20 分类号: G01M3/20;G05D11/13;C01B23/00
代理公司: 深圳中细软知识产权代理有限公司 44528 代理人: 陈媛
地址: 518000 广东省深圳市宝安区沙井街道共和社区新和大*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及氦气回收技术领域,尤其涉及一种氦检机的氦气回收机构,其包括回收管路、调压管路、补气管路及浓度仪。回收管路包括第一输入端及第一输出端,第一输入端用于输入需回收的氦气,且回收管路还包括依次连接的集气罐、压缩机及第一开关阀;调压管路包括第二输入端及第二输出端,第二输入端及第二输出端均与回收管路连接,且第二输入端连接于压缩机与第一开关阀之间,第二输出端连接于集气罐的上游,调压管路还包括第二开关阀;补气管路包括第三输入端及第三输出端,第三输入端用于输入高浓度的氦气,第三输出端与调压管路或回收管路连接,并位于集气罐的上游,且补气管路还包括第三开关阀;浓度仪用于检测压缩机下游的氦气的浓度值。
搜索关键词: 氦检机 氦气 回收 机构
【主权项】:
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