[实用新型]氦检机的氦气回收机构

权利要求书

1.一种氦检机的氦气回收机构，其特征在于，包括：

回收管路，包括第一输入端及第一输出端，所述第一输入端用于输入需回收的氦气，且所述回收管路还包括依次连接的集气罐、压缩机及第一开关阀；

调压管路，包括第二输入端及第二输出端，所述第二输入端及所述第二输出端均与所述回收管路连接，且所述第二输入端连接于所述压缩机与所述第一开关阀之间，所述第二输出端连接于所述集气罐的上游，所述调压管路还包括第二开关阀；

补气管路，包括第三输入端及第三输出端，所述第三输入端用于输入高浓度的氦气，所述第三输出端与所述调压管路或所述回收管路连接，并位于所述集气罐的上游，且所述补气管路还包括第三开关阀；及

浓度仪，用于检测所述压缩机下游的氦气的浓度值；

所述浓度值达到预设值时，所述第一开关阀打开，所述第二开关阀及所述第三开关阀关闭；所述浓度值低于所述预设值时，所述第一开关阀关闭，所述第二开关阀及所述第三开关阀打开。

2.如权利要求1所述的氦检机的氦气回收机构，其特征在于，所述调压管路包括依次连接的第一单向阀及第二单向阀，所述第三输出端连接于所述第一单向阀与所述第二单向阀之间。

3.如权利要求2所述的氦检机的氦气回收机构，其特征在于，所述浓度仪与所述调压管路连接，并位于所述第一单向阀的上游。

4.如权利要求1所述的氦检机的氦气回收机构，其特征在于，所述浓度仪与所述第一开关阀、所述第二开关阀及所述第三开关阀电连接。

5.如权利要求1至4任一项所述的氦检机的氦气回收机构，其特征在于，所述氦检机的氦气回收机构还包括备用管路，所述备用管路包括第四输入端及第四输出端，所述第四输入端与所述补气管路连接，所述第四输出端用于与氦检机连接，且所述备用管路包括第四开关阀。

6.如权利要求5所述的氦检机的氦气回收机构，其特征在于，所述备用管路还包括与所述第四开关阀并联的第五开关阀，且所述第五开关阀为手动阀。

7.如权利要求1所述的氦检机的氦气回收机构，其特征在于，所述回收管路还包括顺次连接的真空罐及真空泵，且所述真空泵位于所述集气罐、所述第二输出端及所述第三输出端的上游。

8.如权利要求7所述的氦检机的氦气回收机构，其特征在于，所述回收管路还包括位于所述真空罐上游的第一过滤器。

9.如权利要求1所述的氦检机的氦气回收机构，其特征在于，所述回收管路还包括位于所述压缩机下游的第二过滤器。

10.如权利要求1所述的氦检机的氦气回收机构，其特征在于，所述氦检机的氦气回收机构还包括与所述第一输出端连接的储气罐。