[实用新型]一种用于石英管更换的辅助对准装置和一种半导体处理炉有效
| 申请号： | 202020439773.0 | 申请日： | 2020-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN211788930U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 张浩冉;邓伟东 | 申请（专利权）人： | 芯恩（青岛）集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙) 11479 | 代理人： | 高园园 |
| 地址： | 266555 山东省青岛市黄岛区*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种用于石英管更换的辅助对准装置，所述石英管呈圆柱形，且安装在管座的圆柱形凹槽内，所述辅助对准结构包括：能够固定在管座上方的安装架，所述安装架上设置有可延伸至所述管座上方的承载架，且所述承载架与所述管座之间设置有能够允许所述石英管更换的安装距离；安装在所述承载架上的至少三个激光器，所述至少三个激光器的激光射线指向所述管座，并能沿待更换石英管外圆柱面的不同母线延伸方向射出。本实用新型辅助安装装置利用激光射线进行安装导向，避免设备工程师只依靠眼和手感经验来放置石英管，减少石英管的磕碰损坏，避免因人为原因造成石英管强制报废，节约了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 石英管 更换 辅助 对准 装置 半导体 处理 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
