[实用新型]一种用于石英管更换的辅助对准装置和一种半导体处理炉

权利要求书

1.一种用于石英管更换的辅助对准装置，所述石英管呈圆柱形，且安装在管座的圆柱形凹槽内，其特征在于，所述辅助对准结构包括：

能够固定在管座上方的安装架，所述安装架上设置有可延伸至所述管座上方的承载架；

安装在所述承载架上的至少三个激光器，所述至少三个激光器的激光射线指向所述管座，并能沿待更换石英管外圆柱面的不同母线延伸方向射出。

2.根据权利要求1所述的辅助对准装置，其特征在于，所述安装架还包括底座、第一连接架、第二连接架，所述底座上设置有能够将所述底座固定在处理炉上的连接部，所述第一连接架的一端与所述底座通过可锁定不动的第一铰接结构相铰接；所述第二连接架的一端与所述第一连接架的另一端通过可锁定不动的第二铰接结构相铰接；所述承载架与所述第二连接架的另一端通过可锁定不动的第三铰接结构相铰接。

3.根据权利要求2所述的辅助对准装置，其特征在于，所述第一连接架包括第一连接体和第二连接体，所述底座上设置有向上凸起的铰接座，所述第一连接体和所述第二连接体朝向所述铰接座的一端分居于所述铰接座两侧并通过所述第一铰接结构与所述铰接座相铰接；所述第一连接体和所述第二连接体朝向所述第二连接架的一端分居于所述第二连接架的两侧，并分别通过所述第二铰接结构与所述第二连接架相铰接，所述铰接结构包括铰接螺栓和螺母，所述铰接螺栓的小端穿过各个铰接件上的铰接孔与所述螺母螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的辅助对准装置，其特征在于，所述第一连接体、第二连接体与所述铰接座和/或所述第二连接架之间，所述承载架与所述第二连接架之间均设置有止动垫圈。

5.根据权利要求4所述的辅助对准装置，其特征在于，所述止动垫圈的两侧表面均设置有多个尖凸部。

6.根据权利要求1所述的辅助对准装置，其特征在于，所述安装架包括底座和支架，所述底座上设置有能够将所述底座固定在处理炉上的连接部，所述支架的一端与所述底座相固连，另一端与所述承载架相固连。

7.根据权利要求1至6任一项所述的辅助对准装置，其特征在于，所述承载架上设置有与所述激光器相配的安装筒，所述激光器通过可调的顶紧结构安装在所述安装筒内，所述可调的顶紧结构包括设置在所述安装筒一端的第一调节结构和设置在所述安装筒另一端的第二调节结构，所述调节结构包括至少三个螺钉，所述至少三个螺钉螺纹连接安装在所述安装筒上，且沿所述安装筒的径向伸入至所述安装筒内并顶紧在所述激光器上。

8.根据权利要求7所述的辅助对准装置，其特征在于，所述至少三个螺钉沿圆周方向均布。

9.根据权利要求8所述的辅助对准装置，其特征在于，所述安装筒上设置有多个用于涂胶将调整完毕后的所述激光器与所述安装筒相粘结固定的涂胶孔。

10.一种半导体处理炉，包括石英管和管座，其特征在于，还包括权利要求1至9中任一项所述的辅助对准装置。