[实用新型]单晶炉加料器固定装置有效
申请号: | 202020424042.9 | 申请日: | 2020-03-27 |
公开(公告)号: | CN212077204U | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 闫龙;魏兴彤;李美平;王忠宝 | 申请(专利权)人: | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;F27D3/12 |
代理公司: | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人: | 孙彦虎 |
地址: | 750021 宁夏回*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 一种单晶炉加料器固定装置,涉及加料器辅助部件技术领域,将加料器固定在单晶炉上,能够调节加料器的出料端与单晶炉内部热场的距离,包括活动连接的固定部及调节部。本装置将原有的法兰固定变成固定部和调节部两部分,固定部固定在单晶炉上,调节部固定在加料器上,调节螺杆与螺纹孔、定位螺母、调节孔的配合,使得通过旋转调节螺杆即可调节支撑圈与固定部的距离,从而调节加料器伸入单晶炉内部的深度,根据不同的热场控制加料器的出料端与热场的距离,防止加料器的出料端距离热场过近或过远,避免加料器触碰到高温液体或者下料时溅起高温液体,减少不必要的后果发生的几率。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉加 料器 固定 装置 | ||
【主权项】:
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