[实用新型]单晶炉加料器固定装置有效

专利信息
申请号: 202020424042.9 申请日: 2020-03-27
公开(公告)号: CN212077204U 公开(公告)日: 2020-12-04
发明(设计)人: 闫龙;魏兴彤;李美平;王忠宝 申请(专利权)人: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00;F27D3/12
代理公司: 宁夏合天律师事务所 64103 代理人: 孙彦虎
地址: 750021 宁夏回*** 国省代码: 宁夏;64
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摘要:
搜索关键词: 单晶炉加 料器 固定 装置
【权利要求书】:

1.一种单晶炉加料器固定装置,将加料器固定在单晶炉上,其特征在于:能够调节加料器的出料端与单晶炉内部热场的距离,包括活动连接的固定部及调节部,固定部与单晶炉连接但不与加料器接触;固定部上开设有调节孔;调节部包括定位螺母、支撑圈、调节螺杆,定位螺母固定在固定部上且与调节孔同轴同心,支撑圈与加料器连接,支撑圈上开设有螺纹孔,螺纹孔与调节孔同轴同心,调节孔、定位螺母、螺纹孔均与调节螺杆相适配,调节螺杆由上至下依次穿过螺纹孔、定位螺母、调节孔,以通过旋转调节螺杆带动支撑圈向上或向下移动,进而带动加料器向上或向下移动。

2.如权利要求1所述的单晶炉加料器固定装置,其特征在于:所述固定部包括固定圈,调节孔开设在固定圈上,固定圈位于支撑圈的下部且两者同轴同心,固定圈的内径大于加料器的外径,以使加料器插入固定圈后两者不接触,进而防止加料器上下移动时触碰到固定圈,固定圈与单晶炉可拆卸连接。

3.如权利要求2所述的单晶炉加料器固定装置,其特征在于:所述加料器的进料端设置有搭接突环,搭接突环套设固定在加料器上,搭接突环的外径大于支撑圈的内径,加料器的出料端由上至下依次穿过支撑圈、固定圈,并通过搭接突环搭接在支撑圈上。

4.如权利要求3所述的单晶炉加料器固定装置,其特征在于:所述调节部还包括加固螺纹筒,加固螺纹筒位于支撑圈的下部,加固螺纹筒的一端固定在支撑圈上,且与螺纹孔同轴同心,加固螺纹筒的内壁设置有内螺纹,此内螺纹与调节螺杆的外螺纹相适配,调节螺杆由上至下依次穿过螺纹孔、加固螺纹筒、定位螺母、调节孔,以通过加固螺纹筒加固连接支撑圈和调节螺杆。

5.如权利要求4所述的单晶炉加料器固定装置,其特征在于:所述固定圈的边缘还开设有连接孔,以通过连接孔连接固定圈与单晶炉。

6.如权利要求5所述的单晶炉加料器固定装置,其特征在于:所述固定部还包括手握件,手握件固定在固定圈的外圈,以便于人工移动固定部。

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