[实用新型]单晶炉加料器固定装置有效
申请号: | 202020424042.9 | 申请日: | 2020-03-27 |
公开(公告)号: | CN212077204U | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 闫龙;魏兴彤;李美平;王忠宝 | 申请(专利权)人: | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;F27D3/12 |
代理公司: | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人: | 孙彦虎 |
地址: | 750021 宁夏回*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶炉加 料器 固定 装置 | ||
一种单晶炉加料器固定装置,涉及加料器辅助部件技术领域,将加料器固定在单晶炉上,能够调节加料器的出料端与单晶炉内部热场的距离,包括活动连接的固定部及调节部。本装置将原有的法兰固定变成固定部和调节部两部分,固定部固定在单晶炉上,调节部固定在加料器上,调节螺杆与螺纹孔、定位螺母、调节孔的配合,使得通过旋转调节螺杆即可调节支撑圈与固定部的距离,从而调节加料器伸入单晶炉内部的深度,根据不同的热场控制加料器的出料端与热场的距离,防止加料器的出料端距离热场过近或过远,避免加料器触碰到高温液体或者下料时溅起高温液体,减少不必要的后果发生的几率。
技术领域
本实用新型涉及加料器辅助部件技术领域,具体涉及一种单晶炉加料器固定装置。
背景技术
加料器是将二次用料加到单晶炉热场中的装置,在加料过程中,需要将加料器与单晶炉相对固定,因此,就需要辅助的固定装置将加料器固定在单晶炉上。
现有的固定装置是法兰,在加料器伸入单晶炉内后,法兰将加料器的进料端固定在单晶炉上,但是,法兰固定的弊端在于:法兰无法移动,加料器的尺寸又是固定的,无法伸缩,对于单晶炉不同高度的热场,会导致加料器的出料端距离热场过近或过远,进而导致加料器触碰到高温液体或者下料时溅起高温液体,造成不必要的后果。
发明内容
有鉴于此,有必要提供一种能够调节加料器与热场之间距离的单晶炉加料器固定装置
一种单晶炉加料器固定装置,将加料器固定在单晶炉上,能够调节加料器的出料端与单晶炉内部热场的距离,包括活动连接的固定部及调节部,固定部与单晶炉连接但不与加料器接触;固定部上开设有调节孔;调节部包括定位螺母、支撑圈、调节螺杆,定位螺母固定在固定部上且与调节孔同轴同心,支撑圈与加料器连接,支撑圈上开设有螺纹孔,螺纹孔与调节孔同轴同心,调节孔、定位螺母、螺纹孔均与调节螺杆相适配,调节螺杆由上至下依次穿过螺纹孔、定位螺母、调节孔,以通过旋转调节螺杆带动支撑圈向上或向下移动,进而带动加料器向上或向下移动。
优选的,固定部包括固定圈,调节孔开设在固定圈上,固定圈位于支撑圈的下部且两者同轴同心,固定圈的内径大于加料器的外径,以使加料器插入固定圈后两者不接触,进而防止加料器上下移动时触碰到固定圈,固定圈与单晶炉可拆卸连接。
优选的,加料器的进料端设置有搭接突环,搭接突环套设固定在加料器上,搭接突环的外径大于支撑圈的内径,加料器的出料端由上至下依次穿过支撑圈、固定圈,并通过搭接突环搭接在支撑圈上。
优选的,调节部还包括加固螺纹筒,加固螺纹筒位于支撑圈的下部,加固螺纹筒的一端固定在支撑圈上,且与螺纹孔同轴同心,加固螺纹筒的内壁设置有内螺纹,此内螺纹与调节螺杆的外螺纹相适配,调节螺杆由上至下依次穿过螺纹孔、加固螺纹筒、定位螺母、调节孔,以通过加固螺纹筒加固连接支撑圈和调节螺杆。
优选的,固定圈的边缘还开设有连接孔,以通过连接孔连接固定圈与单晶炉。
优选的,固定部还包括手握件,手握件固定在固定圈的外圈,以便于人工移动固定部。
本实用新型采用上述技术方案,其有益效果在于:将原有的法兰固定变成固定部和调节部两部分,固定部固定在单晶炉上,调节部固定在加料器上,调节螺杆与螺纹孔、定位螺母、调节孔的配合,使得通过旋转调节螺杆即可调节支撑圈与固定部的距离,从而调节加料器伸入单晶炉内部的深度,根据不同的热场控制加料器的出料端与热场的距离,防止加料器的出料端距离热场过近或过远,避免加料器触碰到高温液体或者下料时溅起高温液体,减少不必要的后果发生的几率。
附图说明
图1为单晶炉加料器固定装置的结构示意图。
图2为单晶炉加料器固定装置另一角度的结构示意图。
图3为调节部的结构示意图。
图4为固定部的结构示意图。
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