[实用新型]晶圆清洗机防脱落装置有效
| 申请号： | 202020409426.3 | 申请日： | 2020-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN212370666U | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 田英干 | 申请（专利权）人： | 嘉兴晶装电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 王大国 |
| 地址： | 314199 浙江省嘉兴市嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了晶圆清洗机防脱落装置，包括底座，所述底座的内侧壁底部位置设置有动滑轮，所述底座的内侧壁顶部位置设置有动滑轮，所述动滑轮与动滑轮之间设置有安全绳，所述安全绳的一端安装有移动板，所述移动板的上端设置有旋转台，旋转台的上表面固定连接有支撑杆体，所述支撑杆体的侧壁设置有晶圆主体，所述支撑杆体的一侧侧壁设置有防护箱，所述防护箱的内部设置有转动轮，所述转动轮的内侧壁转动连接有棘爪，所述转动轮的内部设置有棘轮，所述棘爪的一端卡接在棘轮的内部，所述棘轮的内部固定连接有螺栓杆。本实用新型增加防护结构，避免其脱落，可以调节清洗台的高度，保证清洗效果和晶圆的产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 脱落 装置 | ||
【主权项】：
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