[实用新型]晶圆清洗机防脱落装置

权利要求书

1.晶圆清洗机防脱落装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的内侧壁底部位置设置有动滑轮(7)，所述底座(1)的内侧壁顶部位置设置有动滑轮(10)，所述动滑轮(10)与动滑轮(7)之间设置有安全绳(8)，所述安全绳(8)的一端安装有移动板(4)，所述移动板(4)的上端设置有旋转台(5)，旋转台(5)的上表面固定连接有支撑杆体(6)，所述支撑杆体(6)的侧壁设置有晶圆主体(2)，所述支撑杆体(6)的一侧侧壁设置有防护箱(14)，所述防护箱(14)的内部设置有转动轮(17)，所述转动轮(17)的内侧壁转动连接有棘爪(19)，所述转动轮(17)的内部设置有棘轮(18)，所述棘爪(19)的一端卡接在棘轮(18)的内部，所述棘轮(18)的内部固定连接有螺栓杆(15)，所述螺栓杆(15)的表面转动连接有螺母套(16)，所述防护箱(14)的下表面固定连接有中间座(13)，所述中间座(13)的下方设置有定圈体(11)和动圈体(12)。

2.根据权利要求1所述的晶圆清洗机防脱落装置，其特征在于，所述中间座(13)的下表面开设有工形滑槽(21)，所述工形滑槽(21)的内部滑动连接有工形滑块(20)。

3.根据权利要求1所述的晶圆清洗机防脱落装置，其特征在于，所述防护箱(14)的一侧侧壁开设有调节槽口，所述螺栓杆(15)的两端与防护箱(14)的内侧壁转动连接，所述螺母套(16)的一侧侧壁设置有竖杆，所述竖杆的下端贯穿防护箱(14)的内部。

4.根据权利要求1所述的晶圆清洗机防脱落装置，其特征在于，所述底座(1)的内部插接有液体管(3)，所述旋转台(5)的上表面固定连接有支撑杆体(6)，所述支撑杆体(6)设置在晶圆主体(2)的侧壁。

5.根据权利要求1所述的晶圆清洗机防脱落装置，其特征在于，所述底座(1)的内侧壁开设有通槽(9)，所述移动板(4)的一端贯穿通槽(9)的内部。

6.根据权利要求1所述的晶圆清洗机防脱落装置，其特征在于，所述定圈体(11)和动圈体(12)的内侧壁均固定连接有橡胶防损垫，所述晶圆主体(2)设置在定圈体(11)和动圈体(12)直接。