[实用新型]一种配气系统及气体传感器测试系统有效
申请号: | 202020388634.X | 申请日: | 2020-03-24 |
公开(公告)号: | CN212396403U | 公开(公告)日: | 2021-01-26 |
发明(设计)人: | 荣钱;王兴;周文健;邹子纯;张慧慧;陈栋梁;周睿颖;杨正;李旭 | 申请(专利权)人: | 合肥微纳传感技术有限公司 |
主分类号: | B01F3/02 | 分类号: | B01F3/02;B01F5/06;G01N27/04 |
代理公司: | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 | 代理人: | 张景云 |
地址: | 230088 安徽省合肥市高新区创新大道2*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型提供一种配气系统及气体传感器测试系统,包括气体流量计、气体隔膜泵、第一三通阀、二通阀及第二三通阀、进气接口、出气接口、注入口、排出接口;按照气体流向,进气接口、第一三通阀、气体隔膜泵气体流量计、测试腔、第二三通阀、出气接口依次通过管道连通;配气室的进口通过管道与注入口连通,注入口与第二三通阀连通,配气室的出口引出两路管道,其中一路通过二通阀与排出接口连通,另一路与第一三通阀连通。该配气系统综合考虑合成配气、采气袋配气、配气室注入等情况,采用多个三通阀、二通阀、管路、配气室、测试腔的协同作业,实现多个配气形式之间的无障碍切换,大大缩小了测试准备工作。 | ||
搜索关键词: | 一种 系统 气体 传感器 测试 | ||
【主权项】:
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