[实用新型]一种配气系统及气体传感器测试系统

权利要求书

1.一种配气系统，应用于气体传感器测试系统，其特征在于：包括气体隔膜泵、第一三通阀、二通阀及第二三通阀、进气接口、出气接口、注入口、排出接口；按照气体流向，进气接口、第一三通阀、气体隔膜泵、测试腔、第二三通阀、出气接口依次通过管道连通；配气室的进口通过管道与注入口连通，注入口与第二三通阀连通，配气室的出口引出两路管道，其中一路通过二通阀与排出接口连通，另一路与第一三通阀连通。

2.根据权利要求1所述的一种配气系统，其特征在于：还包括气体流量计；所述气体流量计安装在气体隔膜泵与测试腔之间。

3.根据权利要求1或2所述的一种配气系统，其特征在于：还包括多个合成气袋；每个所述合成气袋与所述进气接口通过管道连通。

4.根据权利要求3所述的一种配气系统，其特征在于：在所述合成气袋与所述进气接口管道上固定有流量控制器MFC。

5.根据权利要求1所述的一种配气系统，其特征在于：还包括采集气袋；所述采集气袋上有进出两个接口，分别接到配气系统上的进气接口和出气接口；第一三通阀调整到进气接口与气体隔膜泵相通，第二三通阀调整到出气接口与测试腔出口相通。

6.根据权利要求1或2所述的一种配气系统，其特征在于：所述测试腔相对的两侧开设有进气口和出气口；所述进气口与气体传感器之间固定有第一分流板；自所述进气口进入的气流方向垂直于第一分流板板面；所述第一分流板上分散式的开设有多个第一分流孔。

7.根据权利要求6所述的一种配气系统，其特征在于：在所述第一分流板与气体传感器之间还固定有第二分流板，所述第二分流板与第一分流板平行；所述第二分流板上分散式的开设有多个第二分流孔；第一分流孔与第二分流孔错位布设。

8.根据权利要求7所述的一种配气系统，其特征在于：在气体传感器与出气口之间还固定有第三分流板；所述第三分流板与第一分流板平行；所述第三分流板上分散式开设有多个第三分流孔；所述第一分流板、第二分流板上的过流面积均小于第三分流板上的过流面积。

9.一种气体传感器测试系统，其特征在于：包括权利要求1至8任一所示的配气系统；还包括测试装置，所述测试装置包括测试腔本体、承载板；所述测试腔本体中部下凹形成所述测试腔；承载板正面覆盖在测试腔本体上，使所述测试腔形成密封空间；所述承载板上设置有多个气体传感器接口，用于电性连接所述气体传感器。

10.根据权利要求9所述的一种气体传感器测试系统，其特征在于：在所述承载板背面覆盖有密封压板，所述密封压板与测试腔本体密封固定；所述密封压板上开设有第三开口，使所述承载板背面的气体传感器测点裸露。