[实用新型]一种配气系统及气体传感器测试系统

说明书

本实用新型提供一种配气系统及气体传感器测试系统，包括气体流量计、气体隔膜泵、第一三通阀、二通阀及第二三通阀、进气接口、出气接口、注入口、排出接口；按照气体流向，进气接口、第一三通阀、气体隔膜泵气体流量计、测试腔、第二三通阀、出气接口依次通过管道连通；配气室的进口通过管道与注入口连通，注入口与第二三通阀连通，配气室的出口引出两路管道，其中一路通过二通阀与排出接口连通，另一路与第一三通阀连通。该配气系统综合考虑合成配气、采气袋配气、配气室注入等情况，采用多个三通阀、二通阀、管路、配气室、测试腔的协同作业，实现多个配气形式之间的无障碍切换，大大缩小了测试准备工作。

技术领域

本实用新型涉及气敏测试技术领域，具体来说是一种配气系统及气体传感器测试系统。

背景技术

目前在气敏测试时，配气方式主要有合成配气、采气袋配气、配气室注入三种，每种配气方式涉及到的配气管路均存在差异，无法公用。现有技术中，一般采用在测试之前，根据需要，临时组装管路，组装工作量大，且对于有毒气体，每次组装之后都需要进行气密性试验，程序繁杂，耗时耗力。除此之外，目前气体传感器测试设备还存在以下不足之处，不能满足目前的气体传感器的特殊测试需求。

1、传统的气敏测试设备在测试气体传感器过程中，配气方式单一，多为静态配气测试，测试完成的测试气体可能是有毒有害的气体，对实验室内的测试人员构成一定的危害，但是测试设备不能够对测试完成后的废气集中处理。

2、传统的气敏测试设备在测试气体传感器过程中采用静态配气，为了加快注入的气体扩散速度，减少气体混合时间，在测试腔中安装了加速扩散的电动风扇，但是气体的混合时间还是大于快速响应的气体传感器响应时间，不能够准确气体传感器的响应时间，同时也不能够准确测试气体传感器的恢复时间。

3、传统的气敏测试设备在测试气体传感器过程中采用静态配气，配气的精度存在一定误差，同时测试腔体内吸附的测试气体也会带来一定的配气误差，影响了气体传感器的测试精度。

4、多通道测试设备不能独立调节各通道的加热电压、测量电压和匹配电阻等参数。

5、半导体气体传感器在研发过程中，需要测试气体传感器在不同的加热温度、测量电压下和匹配电阻的气敏特性，来优化工作温度、测量电压和匹配电阻，得到材料最佳的气敏特性。传统气敏测试设备在设定测试气体传感器加热电压、测量电压和匹配电阻时，采用多次手动调节，得到测试数据需要手动处理归类，完成一组最佳的工作曲线耗时多，数据处理繁琐。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题之一在于如果提高配气系统的应用灵活性。

本实用新型所要解决的技术问题之二在于如何提高气体传感器的测试精度。

本实用新型通过以下技术手段实现解决上述技术问题的：

一种配气系统，应用于气体传感器测试系统，包括气体隔膜泵、第一三通阀、二通阀及第二三通阀、进气接口、出气接口、注入口、排出接口；按照气体流向，进气接口、第一三通阀、气体隔膜泵、测试腔、第二三通阀、出气接口依次通过管道连通；配气室的进口通过管道与注入口连通，注入口与第二三通阀连通，配气室的出口引出两路管道，其中一路通过二通阀与排出接口连通，另一路与第一三通阀连通。

该配气系统综合考虑合成配气、采气袋配气、配气室注入等情况，采用多个三通阀、二通阀、管路、配气室、测试腔的协同作业，将配气室作为配气管路的一部分，在出注入式配气之外，无需拆卸配气室；实现多个配气形式之间的无障碍切换，大大缩小了测试准备工作。

进一步的，还包括气体流量计；所述气体流量计安装在气体隔膜泵与测试腔之间。

进一步的，还包括多个合成气袋；每个所述合成气袋与所述进气接口通过管道连通。

进一步的，在所述合成气袋与所述进气接口管道上固定有流量控制器MFC。