[实用新型]一种准单晶硅片微缺陷的检测装置

摘要

本实用新型公开了一种准单晶硅片微缺陷的检测装置，包括底座，底座的上端设有固定台，固定台的下端四拐角处均固定连接有支柱，支柱的下端均固定连接在底座上，固定台的中部开设有凹槽，凹槽的开口处位于固定台的上端，凹槽内部下端的两侧均开设有通槽，固定台的上端两侧均固定连接有支撑板，支撑板靠近固定台中部的一侧均开设有升降槽，升降槽的内部下端均固定连接有定位杆，本实用新型所达到的有益效果是：本实用是一个单晶硅片检测时所用的抛光装置，且本实用新型的固定台两侧均设置了带有喷头的水管，且水管上均连接有一个储存去离子水的储水盒，使得本实用新型在抛光的同时可以对单晶硅片进行清洗，无需分开来操作，工作效率较高。