[实用新型]一种准单晶硅片微缺陷的检测装置

说明书

本实用新型公开了一种准单晶硅片微缺陷的检测装置，包括底座，底座的上端设有固定台，固定台的下端四拐角处均固定连接有支柱，支柱的下端均固定连接在底座上，固定台的中部开设有凹槽，凹槽的开口处位于固定台的上端，凹槽内部下端的两侧均开设有通槽，固定台的上端两侧均固定连接有支撑板，支撑板靠近固定台中部的一侧均开设有升降槽，升降槽的内部下端均固定连接有定位杆，本实用新型所达到的有益效果是：本实用是一个单晶硅片检测时所用的抛光装置，且本实用新型的固定台两侧均设置了带有喷头的水管，且水管上均连接有一个储存去离子水的储水盒，使得本实用新型在抛光的同时可以对单晶硅片进行清洗，无需分开来操作，工作效率较高。

技术领域

本实用新型涉及一种检测装置，特别涉及一种准单晶硅片微缺陷的检测装置，属于检测装置技术领域。

背景技术

随着光伏技术的不断更新，铸造准单晶技术作为一项新的技术兼顾了铸造多晶硅及直拉单晶硅技术的优点。能够在铸造多晶硅设备的基础上，通过坩埚底部铺设籽晶，采用定向凝固法生长准单晶，然后准单晶线切割成准单晶硅片，为了了解准单晶硅片的微缺陷，工作人员需要利用检测装置对单晶硅片进行检测，检测过程中工作人员会用到很多检测装置，抛光装置和清洗和是其中两个。

目前工作人员在对单晶硅片进行抛光和清洗时，需要利用抛光设备和清理设备分开对单晶硅片进行操作，需要转移和重新固定单晶硅片，操作过程较为麻烦，工作效率低。

实用新型内容

本实用新型要解决目前工作人员在对单晶硅片进行抛光和清洗时，需要利用抛光设备和清理设备分开对单晶硅片进行操作，需要转移和重新固定单晶硅片，操作过程较为麻烦，工作效率低的缺陷，提供一种准单晶硅片微缺陷的检测装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型一种准单晶硅片微缺陷的检测装置，包括底座，所述底座的上端设有固定台，所述固定台的下端四拐角处均固定连接有支柱，所述支柱的下端均固定连接在底座上，所述固定台的中部开设有凹槽，所述凹槽的开口处位于固定台的上端，所述凹槽内部下端的两侧均开设有通槽，所述固定台的上端两侧均固定连接有支撑板，所述支撑板靠近固定台中部的一侧均开设有升降槽，所述升降槽的内部下端均固定连接有定位杆，所述支撑板之间滑动连接有横板，所述横板的两侧均滑动连接在同侧升降槽的内部，所述横板的两侧均开设有通孔，所述通孔的直径均比同侧定位杆的直径大且均位于同一条中心线上，所述横板的中部固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有传动轴，所述传动轴远离电机的一端均固定连接有抛光盘，所述横板的正面中部固定连接有固定杆，所述底座的上端两侧均固定连接有储水盒，所述储水盒的上端均固定连接有水管，所述水管均穿过固定台的外侧壁且均延伸至凹槽的内部，所述水管位于凹槽内部的一端均固定连接有喷头。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述底座的上端中部固定连接有固定环，所述固定环位于固定台的下方，所述固定环中部的底座上固定连接有支撑台，所述支撑台的上端和固定台的下端中部固定连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述抛光盘位于凹槽的正上方，所述抛光盘的直径比凹槽长宽小。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述升降槽上端的支撑板上均开设有位移槽，所述位移槽均和底座平行且均与同侧升降槽的上端相通，所述位移槽的高度均比横板的厚度大。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述定位杆的外侧壁上均包裹有压缩弹簧，所述压缩弹簧的下端均和所在升降槽的内部下端固定连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述固定台的两侧中部均螺纹连接有螺杆，所述螺杆均穿过固定台的外侧壁且均延伸至凹槽的内部，所述螺杆位于凹槽内部的一端均转动连接有挤压板，所述挤压板的下端均滑动连接在同侧通槽的内部，所述螺杆位于固定台外部的一端均固定连接有手轮。