[实用新型]一种准单晶硅片微缺陷的检测装置

权利要求书

1.一种准单晶硅片微缺陷的检测装置，其特征在于，包括底座(1)，所述底座(1)的上端设有固定台(2)，所述固定台(2)的下端四拐角处均固定连接有支柱(3)，所述支柱(3)的下端均固定连接在底座(1)上，所述固定台(2)的中部开设有凹槽(6)，所述凹槽(6)的开口处位于固定台(2)的上端，所述凹槽(6)内部下端的两侧均开设有通槽(7)，所述固定台(2)的上端两侧均固定连接有支撑板(10)，所述支撑板(10)靠近固定台(2)中部的一侧均开设有升降槽(11)，所述升降槽(11)的内部下端均固定连接有定位杆(12)，所述支撑板(10)之间滑动连接有横板(14)，所述横板(14)的两侧均滑动连接在同侧升降槽(11)的内部，所述横板(14)的两侧均开设有通孔(15)，所述通孔(15)的直径均比同侧定位杆(12)的直径大且均位于同一条中心线上，所述横板(14)的中部固定连接有电机(16)，所述电机(16)的输出端固定连接有传动轴(17)，所述传动轴(17)远离电机(16)的一端均固定连接有抛光盘(18)，所述横板(14)的正面中部固定连接有固定杆(24)，所述底座(1)的上端两侧均固定连接有储水盒(21)，所述储水盒(21)的上端均固定连接有水管(22)，所述水管(22)均穿过固定台(2)的外侧壁且均延伸至凹槽(6)的内部，所述水管(22)位于凹槽(6)内部的一端均固定连接有喷头(23)。

2.根据权利要求1所述的一种准单晶硅片微缺陷的检测装置，其特征在于，所述底座(1)的上端中部固定连接有固定环(4)，所述固定环(4)位于固定台(2)的下方，所述固定环(4)中部的底座(1)上固定连接有支撑台(5)，所述支撑台(5)的上端和固定台(2)的下端中部固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种准单晶硅片微缺陷的检测装置，其特征在于，所述抛光盘(18)位于凹槽(6)的正上方，所述抛光盘(18)的直径比凹槽(6)长宽小。

4.根据权利要求1所述的一种准单晶硅片微缺陷的检测装置，其特征在于，所述升降槽(11)上端的支撑板(10)上均开设有位移槽(19)，所述位移槽(19)均和底座(1)平行且均与同侧升降槽(11)的上端相通，所述位移槽(19)的高度均比横板(14)的厚度大。

5.根据权利要求1所述的一种准单晶硅片微缺陷的检测装置，其特征在于，所述定位杆(12)的外侧壁上均包裹有压缩弹簧(13)，所述压缩弹簧(13)的下端均和所在升降槽(11)的内部下端固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种准单晶硅片微缺陷的检测装置，其特征在于，所述固定台(2)的两侧中部均螺纹连接有螺杆(8)，所述螺杆(8)均穿过固定台(2)的外侧壁且均延伸至凹槽(6)的内部，所述螺杆(8)位于凹槽(6)内部的一端均转动连接有挤压板(9)，所述挤压板(9)的下端均滑动连接在同侧通槽(7)的内部，所述螺杆(8)位于固定台(2)外部的一端均固定连接有手轮(20)。