[实用新型]一种化学品供液管路装置有效
| 申请号： | 202020242393.8 | 申请日： | 2020-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN212408284U | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 周礼誉 | 申请（专利权）人： | 上海兄弟微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/08 | 分类号： | F17D1/08;F17D3/01 |
| 代理公司： | 上海昱泽专利代理事务所(普通合伙) 31341 | 代理人： | 孟波 |
| 地址： | 200123 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种化学品供液管路装置，包括过滤前汇合管路、第一支路、第二支路、过滤后汇合管路、第三支路、第四支路、第五支路、第六支路、第七支路、第八支路、第一旁路、第二旁路、第一过滤器、第二过滤器、第一进液阀、第二进液阀、第三进液阀、第四进液阀、第一排废阀、第二排废阀、第三排废阀、第四排废阀、第五进液阀、第六进液阀、第七进液阀、第八进液阀、第九进液阀、第十进液阀、第一VMB管路和第二VMB管路；本实用新型的化学品供液管路装置能够消除CMD柜发生部件损坏时可能产生的停机隐患；增加更换维修的便利性，提高时效；提供多种供液路径组合，可在各支路间灵活切换。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学品 管路 装置 | ||
【主权项】：
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