[实用新型]一种化学品供液管路装置

说明书

本实用新型公开了一种化学品供液管路装置，包括过滤前汇合管路、第一支路、第二支路、过滤后汇合管路、第三支路、第四支路、第五支路、第六支路、第七支路、第八支路、第一旁路、第二旁路、第一过滤器、第二过滤器、第一进液阀、第二进液阀、第三进液阀、第四进液阀、第一排废阀、第二排废阀、第三排废阀、第四排废阀、第五进液阀、第六进液阀、第七进液阀、第八进液阀、第九进液阀、第十进液阀、第一VMB管路和第二VMB管路；本实用新型的化学品供液管路装置能够消除CMD柜发生部件损坏时可能产生的停机隐患；增加更换维修的便利性，提高时效；提供多种供液路径组合，可在各支路间灵活切换。

技术领域

本实用新型涉及化学领域，特别涉及一种化学品供液管路装置。

背景技术

随着湿化学设备在LED、太阳能、MEMS、功率器件、分立器件、先进封装和半导体材料等领域自动化程度的不断提高，原有的人工手动配液、补液逐渐由自动供液取代。

在化学品自动供液系统的重要组成部分CDM柜中，传统的内部供液管路装置有以下不足；1、一主一备的两个化学品过滤器，只在过滤前及过滤后的汇合段管路上设置阀门，未在每个化学品过滤器的前后支路上设置阀门，在其中一个过滤器发生损坏需要维修更换时，须整个系统停止供液，从而影响生产；2、化学品过滤后通往VMB阀箱的供液管路未设置旁路，在该段管路的阀门发生损坏需要维修更换时，须停止该段管路供液，从而影响生产。

亟需一种可以消除CMD柜发生部件损坏时可能产生的停机隐患；增加更换维修的便利性，提高时效；提供多种供液路径组合的化学品供液管路装置来解决上述技术问题。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种化学品供液管路装置，本实用新型的化学品供液管路装置能够消除CMD柜发生部件损坏时可能产生的停机隐患；增加更换维修的便利性，提高时效；提供多种供液路径组合，可在各支路间灵活切换。

本实用新型是通过如下技术方案解决上述技术问题的：

本实用新型提供了一种化学品供液管路装置，包括过滤前汇合管路、第一支路、第二支路、过滤后汇合管路、第三支路、第四支路、第五支路、第六支路、第七支路、第八支路、第一旁路、第二旁路、第一过滤器、第二过滤器、第一进液阀、第二进液阀、第三进液阀、第四进液阀、第一排废阀、第二排废阀、第三排废阀、第四排废阀、第五进液阀、第六进液阀、第七进液阀、第八进液阀、第九进液阀、第十进液阀、第一VMB管路和第二VMB管路；所述第一支路的前端、第二支路的前端分别与所述过滤前汇合管路相连通，所述第一支路的后端、第二支路的后端分别与所述过滤后汇合管路相连通，所述第一进液阀、第一过滤器、第三进液阀依次固定于所述第一支路上，所述第二进液阀、第二过滤器、第四进液阀依次固定于所述第二支路上；所述第三支路通过所述第一排废阀与所述第一过滤器的底部相连，所述第四支路通过所述第二排废阀与所述第一过滤器的顶部相连，所述第五支路通过所述第三排废阀与所述第二过滤器的底部相连，所述第六支路通过所述第四排废阀与所述第二过滤器的顶部相连，所述第三支路、第四支路、第五支路和第六支路交汇；所述过滤后汇合管路通过所述第七管路与所述第一VMB管路相连通，所述过滤后汇合管路通过所述第八管路与所述第二VMB管路相连通；所述第五进液阀、第六进液阀依次固定于所述第七管路上，所述第七进液阀通过所述第一旁路固定于所述第七支路上，所述第八进液阀、第九进液阀依次固定于所述第八管路上，所述第十进液阀通过所述第二旁路固定于所述第八支路上。

本实用新型中，所述过滤前汇合管路用于输入待过滤的液体，所述过滤前汇合管路是本领域常规。

本实用新型中，所述过滤后汇合管路用于输出已经过滤的液体，所述过滤后汇合管路是本领域常规。

本实用新型中，所述第三支路、第四支路、第五支路、第六支路用于输出过滤后的废液废气，所述第三支路、第四支路、第五支路、第六支路可根据实际情况切换使用。