[实用新型]一种化学品供液管路装置有效
申请号: | 202020242393.8 | 申请日: | 2020-03-02 |
公开(公告)号: | CN212408284U | 公开(公告)日: | 2021-01-26 |
发明(设计)人: | 周礼誉 | 申请(专利权)人: | 上海兄弟微电子技术有限公司 |
主分类号: | F17D1/08 | 分类号: | F17D1/08;F17D3/01 |
代理公司: | 上海昱泽专利代理事务所(普通合伙) 31341 | 代理人: | 孟波 |
地址: | 200123 上海市浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 化学品 管路 装置 | ||
1.一种化学品供液管路装置,其特征在于,所述化学品供液管路装置包括过滤前汇合管路、第一支路、第二支路、过滤后汇合管路、第三支路、第四支路、第五支路、第六支路、第七支路、第八支路、第一旁路、第二旁路、第一过滤器、第二过滤器、第一进液阀、第二进液阀、第三进液阀、第四进液阀、第一排废阀、第二排废阀、第三排废阀、第四排废阀、第五进液阀、第六进液阀、第七进液阀、第八进液阀、第九进液阀、第十进液阀、第一VMB管路和第二VMB管路;所述第一支路的前端、第二支路的前端分别与所述过滤前汇合管路相连通,所述第一支路的后端、第二支路的后端分别与所述过滤后汇合管路相连通,所述第一进液阀、第一过滤器、第三进液阀依次固定于所述第一支路上,所述第二进液阀、第二过滤器、第四进液阀依次固定于所述第二支路上;所述第三支路通过所述第一排废阀与所述第一过滤器的底部相连,所述第四支路通过所述第二排废阀与所述第一过滤器的顶部相连,所述第五支路通过所述第三排废阀与所述第二过滤器的底部相连,所述第六支路通过所述第四排废阀与所述第二过滤器的顶部相连,所述第三支路、第四支路、第五支路和第六支路交汇;所述过滤后汇合管路通过所述第七支路与所述第一VMB管路相连通,所述过滤后汇合管路通过所述第八支路与所述第二VMB管路相连通;所述第五进液阀、第六进液阀依次固定于所述第七支路上,所述第七进液阀通过所述第一旁路固定于所述第七支路上,所述第八进液阀、第九进液阀依次固定于所述第八支路上,所述第十进液阀通过所述第二旁路固定于所述第八支路上。
2.如权利要求1所述的化学品供液管路装置,其特征在于,所述第一进液阀、第二进液阀为手动进液阀。
3.如权利要求1所述的化学品供液管路装置,其特征在于,所述第三进液阀、第四进液阀为手动进液阀。
4.如权利要求1所述的化学品供液管路装置,其特征在于,所述第一排废阀、第二排废阀、第三排废阀、第四排废阀为手动排废阀。
5.如权利要求1所述的化学品供液管路装置,其特征在于,所述第五进液阀、第八进液阀为气动进液阀。
6.如权利要求1所述的化学品供液管路装置,其特征在于,所述第六进液阀、第七进液阀、第九进液阀、第十进液阀为手动进液阀。
7.如权利要求1所述的化学品供液管路装置,其特征在于,所述第一旁路和第二旁路上设置有气动进液阀。
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