[实用新型]一种真空蒸镀设备有效
| 申请号： | 202020227638.X | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN211734457U | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 高永喜;武启飞;廖良生;赵鹏鹏;陈奇 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空蒸镀技术领域，公开一种真空蒸镀设备，包括真空腔体和清洁机构。真空腔体内设置有蒸镀机构。清洁机构设置在真空腔体内。清洁机构包括光热源和安装组件，光热源安装在安装组件上，安装组件设置在真空腔体的侧壁上。本实用新型提供的真空蒸镀设备，光热源通电即可加热，流转工装及真空腔室内壁上残留的蒸镀材料受热蒸发或升华，然后可以在真空抽气作用下被抽出真空腔体外，从而能够防止真空腔体被流转工装上残留的蒸镀材料污染，保证真空腔体的清洁度；另外，将光热源安装在侧壁上，即光热源采用悬挂式安装方式，可以提高真空腔体的空间利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 设备 | ||
【主权项】：
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