[实用新型]一种真空蒸镀设备

说明书

本实用新型涉及真空蒸镀技术领域，公开一种真空蒸镀设备，包括真空腔体和清洁机构。真空腔体内设置有蒸镀机构。清洁机构设置在真空腔体内。清洁机构包括光热源和安装组件，光热源安装在安装组件上，安装组件设置在真空腔体的侧壁上。本实用新型提供的真空蒸镀设备，光热源通电即可加热，流转工装及真空腔室内壁上残留的蒸镀材料受热蒸发或升华，然后可以在真空抽气作用下被抽出真空腔体外，从而能够防止真空腔体被流转工装上残留的蒸镀材料污染，保证真空腔体的清洁度；另外，将光热源安装在侧壁上，即光热源采用悬挂式安装方式，可以提高真空腔体的空间利用率。

技术领域

本实用新型涉及真空蒸镀技术领域，尤其涉及一种真空蒸镀设备。

背景技术

在OLED(Organic Light-Emitting Diode)显示屏生产过程中，通常需要利用真空蒸镀设备对玻璃基片进行真空蒸镀。在蒸镀过程中通常需要用到流转工装，由于要对玻璃基片进行多种材料的连续蒸镀，所以流转工装会从一种蒸镀材料的真空腔体中进入到另一种蒸镀材料的真空腔体中。而当流转工装在多个真空腔体中流转时，上一个真空腔体的残留的蒸镀材料会被流转工装带入至下一个真空腔体中，因此就会造成真空腔体的污染，降低真空腔体的清洁度，同时会影响蒸镀膜层的纯度和结合力，导致产品性能的降低。

因此，亟需一种新型的真空蒸镀设备以解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空蒸镀设备，能够防止真空腔体被污染，保证真空腔体的清洁度，提高蒸镀膜层的纯度和结合力，有利于提高最终产品的性能。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种真空蒸镀设备，包括：

真空腔体，其内设置有蒸镀机构；

清洁机构，设置在所述真空腔体内；

所述清洁机构包括光热源和安装组件，所述光热源安装在所述安装组件上，所述安装组件设置在所述真空腔体的侧壁上。

进一步地，还包括控温仪表，所述控温仪表与所述光热源电连接，以根据监测温度反馈调节所述光热源的加热温度。

进一步地，所述安装组件包括安装座和固定板，所述安装座被配置为可拆卸地安装在所述侧壁上，所述固定板可拆卸地设置在所述安装座上以形成安装腔，所述光热源能够穿过所述安装腔以固定安装在所述真空腔体内。

进一步地，所述安装座上设置有第一凹槽，所述固定板能够盖设在所述第一凹槽上以形成所述安装腔。

进一步地，所述固定板上设置有第二凹槽，所述第二凹槽能够与所述第一凹槽扣合以形成所述安装腔。

进一步地，所述安装座包括第一安装部和第二安装部，通过所述第一安装部将所述安装座安装在所述侧壁上，所述第一凹槽开设在所述第二安装部上。

进一步地，所述清洁机构还包括反射罩，所述反射罩用于将所述光热源的光热反射到目标区域。

进一步地，所述清洁机构还包括驱动器，所述驱动器的驱动端与所述反射罩连接，所述驱动器能够驱动所述反射罩转动，以调节所述反射罩的朝向。

进一步地，还包括滑轨，所述滑轨设置在所述侧壁上，所述安装组件通过所述滑轨可移动地设置在所述侧壁上。

本实用新型的有益效果为：