[实用新型]一种真空蒸镀设备

权利要求书

1.一种真空蒸镀设备，其特征在于，包括：

真空腔体，其内设置有蒸镀机构；

清洁机构，设置在所述真空腔体内；

所述清洁机构包括光热源(1)和安装组件(2)，所述光热源(1)安装在所述安装组件(2)上，所述安装组件(2)设置在所述真空腔体的侧壁(100)上。

2.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备，其特征在于，还包括控温仪表，所述控温仪表与所述光热源(1)电连接，以根据监测温度反馈调节所述光热源(1)的加热温度。

3.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备，其特征在于，所述安装组件(2)包括安装座(21)和固定板(22)，所述安装座(21)被配置为可拆卸地安装在所述侧壁(100)上，所述固定板(22)可拆卸地设置在所述安装座(21)上以形成安装腔(23)，所述光热源(1)能够穿过所述安装腔(23)以固定安装在所述真空腔体内。

4.根据权利要求3所述的真空蒸镀设备，其特征在于，所述安装座(21)上设置有第一凹槽(211)，所述固定板(22)能够盖设在所述第一凹槽(211)上以形成所述安装腔(23)。

5.根据权利要求4所述的真空蒸镀设备，其特征在于，所述固定板(22)上设置有第二凹槽(221)，所述第二凹槽(221)能够与所述第一凹槽(211)扣合以形成所述安装腔(23)。

6.根据权利要求4所述的真空蒸镀设备，其特征在于，所述安装座(21)包括第一安装部(212)和第二安装部(213)，通过所述第一安装部(212)将所述安装座(21)安装在所述侧壁(100)上，所述第一凹槽(211)开设在所述第二安装部(213)上。

7.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备，其特征在于，所述清洁机构还包括反射罩(3)，所述反射罩(3)用于将所述光热源(1)的光热反射到目标区域。

8.根据权利要求7所述的真空蒸镀设备，其特征在于，所述清洁机构还包括驱动器，所述驱动器的驱动端与所述反射罩(3)连接，所述驱动器能够驱动所述反射罩(3)转动，以调节所述反射罩(3)的朝向。

9.根据权利要求1-8任一项所述的真空蒸镀设备，其特征在于，还包括滑轨(4)，所述滑轨(4)设置在所述侧壁(100)上，所述安装组件(2)通过所述滑轨(4)可移动地设置在所述侧壁(100)上。