[实用新型]一种低温旋转型石英等离子表面处理装置有效
| 申请号： | 202020226847.2 | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN211455640U | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 蒙煜 | 申请（专利权）人： | 广州善准仪器设备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 广州海石专利代理事务所(普通合伙) 44606 | 代理人： | 邵穗娟 |
| 地址： | 510000 广东省广州市海珠区江南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种低温旋转型石英等离子表面处理装置，其特征是：包括表面处理箱，表面处理箱的箱口设置有密封门，表面处理箱内设置有转动件，转动件的转动端可拆卸连接有放置样品的旋转腔体；表面处理箱内设置有喷出端朝向旋转腔体开口设置的等离子处理器，表面处理箱外设置有抽气泵，抽气泵的抽气口与表面处理箱内连通。通过采用上述设置，具有旋转腔体可安装和旋转，利用等离子处理器产生的等离子体可处理不规则颗粒样品的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低温 旋转 石英 等离子 表面 处理 装置 | ||
【主权项】：
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