[实用新型]一种纳米真空镀膜仪有效
| 申请号： | 202020226528.1 | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN211689209U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 王宁 | 申请（专利权）人： | 苏州泓沵达仪器科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 许云峰 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种纳米真空镀膜仪，包括机架，机架上固设有真空室，真空室内顶部设有基片台、内底部对应于基片台的下方位置设有蒸发源；真空室上端开口，并在该开口处设有启闭的上盖，上盖上设有旋转电机，旋转电机与基片台连接，且旋转电机的中心线与基片台的中心线重合；真空室外部两侧设有自动伸缩杆，自动伸缩杆的上端与上盖铰接、下端与机架铰接；上盖在盖合时，自动伸缩杆处于收缩状态；真空室与抽真空机组相连。通过旋转电机可带动基片台转动，使基片台上的待镀工件镀膜更均衡；自动伸缩杆的使用，手工打开锁扣后，自动将上盖上翻，极大的方便了设备的清洗保养工作，节省了人力，提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 真空镀膜 | ||
【主权项】：
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