[实用新型]一种纳米真空镀膜仪有效
| 申请号： | 202020226528.1 | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN211689209U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 王宁 | 申请（专利权）人： | 苏州泓沵达仪器科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 许云峰 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 真空镀膜 | ||
1.一种纳米真空镀膜仪，包括机架，所述机架上固定设置有真空室，所述真空室内顶部设置有基片台、内底部对应于基片台的下方位置设置有蒸发源；其特征在于：所述真空室上端开口，并在该开口处设置有启闭的上盖，所述上盖上设置有旋转电机，所述旋转电机与基片台连接，且旋转电机的中心线与基片台的中心线重合；所述真空室外部两侧设置有自动伸缩杆，所述自动伸缩杆的上端与上盖铰接、下端与机架铰接；上盖在盖合时，所述自动伸缩杆处于收缩状态；所述真空室与抽真空机组相连。
2.根据权利要求1所述的一种纳米真空镀膜仪，其特征在于：所述蒸发源包括用于放置蒸发镀膜材料的蒸发坩埚、用于给蒸发坩埚加热的钨丝，所述机架上设置有通过电路控制钨丝加热的控温仪表。
3.根据权利要求1所述的一种纳米真空镀膜仪，其特征在于：所述抽真空机组包括与真空室导通相连的真空管路，所述真空管路的末端设置有机械泵，所述真空管路上设置有闸板阀。
4.根据权利要求3所述的一种纳米真空镀膜仪，其特征在于：所述抽真空机组还包括预抽管路，所述预抽管路的一端与真空室导通、另一端与机械泵的进气口导通，所述预抽管路上设置有预抽阀，所述真空管路上设置有分子泵，所述分子泵位于闸板阀与机械泵之间。
5.根据权利要求1所述的一种纳米真空镀膜仪，其特征在于：所述真空室设置有观察窗。
6.根据权利要求1所述的一种纳米真空镀膜仪，其特征在于：所述上盖一端铰接在真空室的开口处、另一端通过锁扣与真空室相连。
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