[实用新型]防晃动二次加料部件及单晶炉有效
| 申请号： | 202020187302.5 | 申请日： | 2020-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN212800601U | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 芮阳;马成;王忠保 | 申请（专利权）人： | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/02 | 分类号： | C30B15/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人： | 孙彦虎 |
| 地址： | 750021 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 一种防晃动二次加料部件，包括不等径石英管、钼杆、连接轴、锥形盖体、支撑环，不等径石英管的两端部的内径小于中间部的内径，钼杆的上端与连接轴连接，钼杆的下端穿过不等径石英管，钼杆的下端与锥形盖体的锥端连接，锥形盖体相对锥端的一端面直径不小于不等径石英管的两端部的内径，支撑环的内径等于不等径石英管的外径，支撑环套装在不等径石英管的外环壁上，本实用新型中，采用内径较大的石英管，在其两端部进行改造，使得石英管两端部内径缩小至要求尺寸，使钼杆和石英管之间接触更紧密，减少晃动，避免钼杆将石英管损坏，同时采用内径较大的石英管，仅对其两端加工改进，制作成本相对低，本实用新型还提供了一种单晶炉。 | ||
| 搜索关键词： | 晃动 二次 加料 部件 单晶炉 | ||
【主权项】：
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