[实用新型]防晃动二次加料部件及单晶炉有效
| 申请号: | 202020187302.5 | 申请日: | 2020-02-20 |
| 公开(公告)号: | CN212800601U | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
| 发明(设计)人: | 芮阳;马成;王忠保 | 申请(专利权)人: | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02;C30B29/06 |
| 代理公司: | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人: | 孙彦虎 |
| 地址: | 750021 宁夏回*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 晃动 二次 加料 部件 单晶炉 | ||
1.一种防晃动二次加料部件,其特征在于:包括不等径石英管、钼杆、连接轴、锥形盖体、支撑环,所述不等径石英管的两端部的内径小于中间部的内径,所述钼杆的上端与连接轴连接,所述钼杆的下端穿过不等径石英管,所述钼杆的下端与锥形盖体的锥端连接,所述锥形盖体相对锥端的一端面直径不小于不等径石英管的两端部的内径,所述支撑环的内径等于不等径石英管的外径,所述支撑环套装在不等径石英管的外环壁上。
2.如权利要求1所述的防晃动二次加料部件,其特征在于:所述防晃动二次加料部件还包括导向环,所述导向环固定在不等径石英管内侧中间部,所述导向环为两个,一个导向环靠近不等径石英管的上端,另一个导向环靠近不等径石英管的下端,所述导向环的内径等于钼杆的外径,所述导向环的外径小于不等径石英管的内径。
3.如权利要求2所述的防晃动二次加料部件,其特征在于:所述防晃动二次加料部件还包括压盖,所述压盖的外径大于不等径石英管的外径,在压盖上设有豁口,所述豁口由压盖的边缘沿其径向延伸至压盖的圆心,所述豁口的宽度不小于钼杆的外径。
4.一种单晶炉,其特征在于:包括上炉体、隔离阀、下炉体、坩埚、提升机构、提拉头以及如权利要求3所述的防晃动二次加料部件,所述上炉体安装在隔离阀的上端,所述下炉体安装在隔离阀的下端,所述坩埚安装在下炉体内,在上炉体内设有提升机构,所述提升机构的伸缩端与提拉头连接,所述提拉头与连接轴连接,所述不等径石英管的上端置于上炉体中,所述支撑环卡装在上炉体内侧的底部,以将不等径石英管相对上炉体固定,所述不等径石英管的下端穿过隔离阀、下炉体,以使不等径石英管的下端位于坩埚的正上方。
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