[实用新型]防晃动二次加料部件及单晶炉

说明书

一种防晃动二次加料部件，包括不等径石英管、钼杆、连接轴、锥形盖体、支撑环，不等径石英管的两端部的内径小于中间部的内径，钼杆的上端与连接轴连接，钼杆的下端穿过不等径石英管，钼杆的下端与锥形盖体的锥端连接，锥形盖体相对锥端的一端面直径不小于不等径石英管的两端部的内径，支撑环的内径等于不等径石英管的外径，支撑环套装在不等径石英管的外环壁上，本实用新型中，采用内径较大的石英管，在其两端部进行改造，使得石英管两端部内径缩小至要求尺寸，使钼杆和石英管之间接触更紧密，减少晃动，避免钼杆将石英管损坏，同时采用内径较大的石英管，仅对其两端加工改进，制作成本相对低，本实用新型还提供了一种单晶炉。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅加工设备技术领域，特别涉及一种防晃动二次加料部件及单晶炉。

背景技术

单晶硅通常使用单晶炉制取，制备过程中，将多晶硅装入坩埚内，加热熔化，然后硅料做降温，给与一定的过冷度，把籽晶装入硅籽晶夹持器中，将籽晶夹持器的上端与提拉头连接，并且使籽晶与硅熔体接触，通过调整熔体的温度和籽晶向上的提升速度，使籽晶长大形成硅棒，由于多晶硅初始装进坩埚内呈堆积状态，占据空间比较大，造成坩埚的一次装填量比较少，待多晶硅加热熔化后，其体积缩小，坩埚上部尚余较大的空间，多晶硅原料的装填量不足，造成一次拉出的单晶硅棒长度较短，因此，现有的设计中，大多设置有二次加料器，而目前在使用的二次加料器时，因石英管内径大，导致钼杆晃动严重，容易对石英管造成损坏，以至于影响拉晶。国外半导体特定管材石英材料价格太高，国内半导体特定管材价格低，但小尺寸内径达不到要求，导致在购买使用时诸多不便，制作成本高。

发明内容

有鉴于此，针对上述不足，有必要提出一种防晃动二次加料部件。

还有必要提出一种设置有防晃动二次加料部件的单晶炉。

一种不等径石英管，所述不等径石英管的两端部的内径小于中间部的内径。

一种防晃动二次加料部件，包括不等径石英管、钼杆、连接轴、锥形盖体、支撑环，所述不等径石英管的两端部的内径小于中间部的内径，所述钼杆的上端与连接轴连接，所述钼杆的下端穿过不等径石英管，所述钼杆的下端与锥形盖体的锥端连接，所述锥形盖体相对锥端的一端面直径不小于不等径石英管的两端部的内径，所述支撑环的内径等于不等径石英管的外径，所述支撑环套装在不等径石英管的外环壁上。

优选的，所述防晃动二次加料部件还包括导向环，所述导向环固定在不等径石英管内侧中间部，所述导向环为两个，一个导向环靠近不等径石英管的上端，另一个导向环靠近不等径石英管的下端，所述导向环的内径等于钼杆的外径，所述导向环的外径小于不等径石英管的内径。

优选的，所述防晃动二次加料部件还包括压盖，所述压盖的外径大于不等径石英管的外径，在压盖上设有豁口，所述豁口由压盖的边缘沿其径向延伸至压盖的圆心，所述豁口的宽度不小于钼杆的外径。

一种单晶炉，包括上炉体、隔离阀、下炉体、坩埚、提升机构、提拉头以及防晃动二次加料部件，所述上炉体安装在隔离阀的上端，所述下炉体安装在隔离阀的下端，所述坩埚安装在下炉体内，在上炉体内设有提升机构，所述提升机构的伸缩端与提拉头连接，所述提拉头与连接轴连接，所述不等径石英管的上端置于上炉体中，所述支撑环卡装在上炉体内侧的底部，以将不等径石英管相对上炉体固定，所述不等径石英管的下端穿过隔离阀、下炉体，以使不等径石英管的下端位于坩埚的正上方。

本实用新型中，采用内径较大的石英管，在其两端部进行改造，使得石英管两端部内径缩小至要求尺寸，使钼杆和石英管之间接触更紧密，减少晃动，避免钼杆将石英管损坏，同时采用内径较大的石英管，仅对其两端加工改进，制作成本相对低。

附图说明

图1为所述防晃动二次加料部件的剖视图。

图2为所述防晃动二次加料部件的俯视图。

图3为所述防晃动二次加料部件的沿A-A方向的剖视图。