[实用新型]一种纳米压印设备有效
| 申请号： | 202020154309.7 | 申请日： | 2020-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN211180527U | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 冀然 | 申请（专利权）人： | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市城阳区长城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种纳米压印设备，包括不锈钢主体，不锈钢主体的内腔右侧壁铰接装配有紫外曝光组件，不锈钢主体的内腔下侧壁左侧固定装配有真空装置，不锈钢主体的内腔左侧壁固定装配有软模夹具，不锈钢主体的内腔下侧壁右侧固定安装有升降台，不锈钢主体的下侧壁均匀固定安装有万向轮和脚杯，本实用新型装置结构合理，使用方便，便于移动，腔体底面对称地安装有万向轮组件和脚杯组件，便于整个装置的移动和调平，紫外曝光装置和软模夹具位于腔体内壁，节省了设备的整体空间，升降台和软膜夹具平行，确保模具的均匀性和平整度，压印时，有利于减少气泡，在基片与软模分离时，整个基台慢慢下降，受力均匀，更易于分开。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 压印 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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