[实用新型]一种纳米压印设备

说明书

本实用新型公开了一种纳米压印设备，包括不锈钢主体，不锈钢主体的内腔右侧壁铰接装配有紫外曝光组件，不锈钢主体的内腔下侧壁左侧固定装配有真空装置，不锈钢主体的内腔左侧壁固定装配有软模夹具，不锈钢主体的内腔下侧壁右侧固定安装有升降台，不锈钢主体的下侧壁均匀固定安装有万向轮和脚杯，本实用新型装置结构合理，使用方便，便于移动，腔体底面对称地安装有万向轮组件和脚杯组件，便于整个装置的移动和调平，紫外曝光装置和软模夹具位于腔体内壁，节省了设备的整体空间，升降台和软膜夹具平行，确保模具的均匀性和平整度，压印时，有利于减少气泡，在基片与软模分离时，整个基台慢慢下降，受力均匀，更易于分开。

技术领域

本实用新型涉及纳米压印技术领域，具体为一种纳米压印设备。

背景技术

纳米压印技术由于具有操作简单、高分辨率、成本低、重复性高等优点,近年来受到国内外研究机构的高度重视，纳米压印的一般步骤分为3步，首先将胶体涂覆在基片上，通过加热或者紫外固化胶体，胶体由液态变为一层固态的薄膜，然后将基片和胶体薄膜分离，基片上的图形就转移到胶体薄膜上。

现有的纳米压印设备体积较大，移动困难，不同的环境地面水平情况不同，地面不水平将导致设备不水平，最终导致膜层厚度不均匀，如果能够设计一种节省空间，便于移动，且便于进行调平的纳米压印设备，就可以解决此类问题，为此，我们提出一种纳米压印设备。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种纳米压印设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种纳米压印设备，包括不锈钢主体，所述不锈钢主体的内腔右侧壁铰接装配有紫外曝光组件，所述不锈钢主体的内腔下侧壁左侧固定装配有真空装置，所述不锈钢主体的内腔左侧壁固定装配有软模夹具，所述不锈钢主体的内腔下侧壁右侧固定安装有升降台，所述不锈钢主体的下侧壁均匀固定安装有万向轮和脚杯；

所述紫外曝光组件包括紫外曝光支架，且紫外曝光支架铰接于不锈钢主体的内腔右侧壁，所述紫外曝光支架的下侧壁固定安装有紫外灯，所述紫外曝光支架的上侧壁固定安装有散热扇，且紫外灯与散热扇分别通过导线连接到外接电源；

所述真空装置包括真空吸盘和真空泵，所述真空吸盘装配于升降台的上侧壁，且真空泵固定安装于不锈钢主体的内腔下侧壁，所述真空吸盘的上侧壁放置有基片，所述真空泵与真空吸盘之间固定连通有真空管；

所述软模夹具包括软模夹具支架，且软模夹具支架安装于不锈钢主体的内腔左侧壁，所述软模夹具支架的外侧壁铰接有透明板，所述透明板的右侧壁开设有真空槽，且真空槽与真空泵之间固定连通有真空管。

优选的，所述真空吸盘的上表面均匀开设有环形槽和直线槽，且直线槽与环形槽相连通。

优选的，所述升降台包括电机，且电机通过导线连接到外接电源，所述电机固定安装于不锈钢主体的内腔下侧壁，所述电机的输出端固定安装有丝杠，所述丝杠的外侧壁装配有基台，且真空吸盘放置于基台上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型装置结构合理，使用方便，便于移动，腔体底面对称地安装有万向轮组件和脚杯组件，便于整个装置的移动和调平，紫外曝光装置和软模夹具位于腔体内壁，节省了设备的整体空间，升降台和软膜夹具平行，确保模具的均匀性和平整度，压印时，升降台慢慢升起，软膜和基片始终保持平衡，有利于减少气泡，在基片与软模分离时，整个基台慢慢下降，受力均匀，更易于分开。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图2为本实用新型压印时的结构示意图。

图3为本实用新型脱模后的结构示意图。

图4为本实用新型软模夹具的结构示意图。

图5为本实用新型真空吸盘的结构示意图。