[实用新型]一种纳米压印设备

权利要求书

1.一种纳米压印设备，其特征在于：包括不锈钢主体(1)，所述不锈钢主体(1)的内腔右侧壁铰接装配有紫外曝光组件(2)，所述不锈钢主体(1)的内腔下侧壁左侧固定装配有真空装置(3)，所述不锈钢主体(1)的内腔左侧壁固定装配有软模夹具(4)，所述不锈钢主体(1)的内腔下侧壁右侧固定安装有升降台(5)，所述不锈钢主体(1)的下侧壁均匀固定安装有万向轮(7)和脚杯(8)；

所述紫外曝光组件(2)包括紫外曝光支架(23)，且紫外曝光支架(23)铰接于不锈钢主体(1)的内腔右侧壁，所述紫外曝光支架(23)的下侧壁固定安装有紫外灯(21)，所述紫外曝光支架(23)的上侧壁固定安装有散热扇(22)，且紫外灯(21)与散热扇(22)分别通过导线连接到外接电源；

所述真空装置(3)包括真空吸盘(31)和真空泵(33)，所述真空吸盘(31)装配于升降台(5)的上侧壁，且真空泵(33)固定安装于不锈钢主体(1)的内腔下侧壁，所述真空吸盘(31)的上侧壁放置有基片(6)，所述真空泵(33)与真空吸盘(31)之间固定连通有真空管(32)；

所述软模夹具(4)包括软模夹具支架(43)，且软模夹具支架(43)安装于不锈钢主体(1)的内腔左侧壁，所述软模夹具支架(43)的外侧壁铰接有透明板(41)，所述透明板(41)的右侧壁开设有真空槽(42)，且真空槽(42)与真空泵(33)之间固定连通有真空管(32)。

2.根据权利要求1所述的一种纳米压印设备，其特征在于：所述真空吸盘(31)的上表面均匀开设有环形槽(311)和直线槽(312)，且直线槽(312)与环形槽(311)相连通。

3.根据权利要求1所述的一种纳米压印设备，其特征在于：所述升降台(5)包括电机(51)，且电机(51)通过导线连接到外接电源，所述电机(51)固定安装于不锈钢主体(1)的内腔下侧壁，所述电机(51)的输出端固定安装有丝杠(52)，所述丝杠(52)的外侧壁装配有基台(53)，且真空吸盘(31)放置于基台(53)上。