[实用新型]一种电极片、载片器以及镀膜系统

摘要

本实用新型公开一种电极片、载片器以及镀膜系统，涉及太阳能电池技术领域，以缓解表面成膜过程中绕镀所产生的硅片边缘颜色异常问题，从而提高硅片镀膜良率。所述电极片包括：至少一个载片单元。每个载片单元的至少一个表面具有载片区域和外围区域，外围区域位于载片区域的周向。每个载片单元的至少一个表面开设有用于抑制绕镀现象的至少一个槽体。至少一个槽体位于外围区域。所述载片器包括上述技术方案所提的电极片。本实用新型提供的电极片用于镀膜系统中。